[发明专利]一种紫外激光聚焦镜头、激光打标机及激光刻划机

权利要求书

1.一种紫外激光聚焦镜头，包括：沿光线入射方向依次设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜，所述第一透镜、第二透镜和第三透镜位于同一光轴上，其特征在于，所述第一透镜为双凸型透镜，所述第二透镜为曲面向着光线入射方向弯曲的弯月型透镜，所述第三透镜为凸平型透镜；当波长为355nm的紫外激光经所述镜头聚焦，其焦距f为60mm，入瞳直径D为30mm。

2.如权利要求1所述的紫外激光聚焦镜头，其特征在于，所述第一透镜具有第一曲面S1和第二曲面S2，所述第一曲面S1的曲率半径R1的期望值为123mm，所述第二曲面S2的曲率半径R2的期望值为-175mm；所述第二透镜具有第三曲面S3和第四曲面S4，所述第三曲面S3的曲率半径R3的期望值为-175mm，所述第四曲面S4的曲率半径R4的期望值为-57mm；所述第三透镜具有第五曲面S5和第六曲面S6，所述第五曲面S5的曲率半径R5的期望值为44mm，所述第六曲面S6的曲率半径R6的期望值为0mm；各曲率半径的公差均不超过各自期望值的5％。

3.如权利要求2所述的紫外激光聚焦镜头，其特征在于，所述第一透镜在光轴上的中心厚度d1的期望值为4mm，所述第二透镜在光轴上的中心厚度d3的期望值为2mm，所述第三透镜在光轴上的中心厚度d5的期望值为4mm；各中心厚度的公差均不超过各自期望值的5％。

4.如权利要求3所述的紫外激光聚焦镜头，其特征在于，所述第一透镜的材料Nd1:Vd1的期望值为1.6/41，其中Nd1表示第一透镜的材料在波长λ＝355nm的d线处的折射率，Vd1表示第一透镜的材料在波长λ＝355nm的d线处的阿贝数；所述第二透镜的材料Nd2:Vd2的期望值为1.5/70，其中Nd2表示第二透镜的材料在波长λ＝355nm的d线处的折射率，Vd2表示第二透镜的材料在波长λ＝355nm的d线处的阿贝数；所述第三透镜的材料Nd3:Vd3的期望值为1.6/41，其中Nd3表示第三透镜的材料在波长λ＝355nm的d线处的折射率，Vd3表示第三透镜的材料在波长λ＝355nm的d线处的阿贝数；各透镜的材料的公差均不超过各自期望值的5％。

5.如权利要求4所述的紫外激光聚焦镜头，其特征在于，所述第二曲面S2与第三曲面S3的间距d2的期望值为2mm，第四曲面S4与第五曲面S5的间距d4的期望值为0.5mm，各间距的公差均不超过各自期望值的5％。

6.如权利要求5所述的紫外激光聚焦镜头，其特征在于，所述第三透镜与成像面之间设有第四透镜，所述第四透镜为具有第七曲面S7和第八曲面S8的平板透镜；所述第四透镜的材料Nd4:Vd4的期望值为1.5/70，其公差不超过期望值的5％；其中Nd4表示第四透镜的材料在波长λ＝355nm的d线处的折射率，Vd4表示第四透镜的材料在波长λ＝355nm的d线处的阿贝数。

7.如权利要求6所述的紫外激光聚焦镜头，其特征在于，所述第七曲面S7的曲率半径R7的期望值为0mm，所述第八曲面S8的曲率半径R8的期望值为0mm，所述第四透镜在光轴上的中心厚度d7的期望值为2mm，其中曲率半径R7、曲率半径R8以及中心厚度d7的公差均不超过各自期望值的5％。

8.一种激光打标机，其特征在于，所述激光打标机具有如权利要求1～8任一项所述的紫外激光聚焦镜头。

9.一种激光刻划机，其特征在于，所述激光刻划机具有如权利要求1～8任一项所述的紫外激光聚焦镜头。