[发明专利]汽化器有效

专利信息
申请号: 201010190597.2 申请日: 2007-06-12
公开(公告)号: CN101979706B 公开(公告)日: 2011-02-23
发明(设计)人: 乔治·萨科;道格拉斯·R·亚当斯;德罗尔·奥韦德;托马斯·N·霍尔斯基;戴维·J·哈特尼特 申请(专利权)人: 山米奎普公司
主分类号: C23C14/48 分类号: C23C14/48;H01J37/02
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 刘国伟
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 汽化器
【权利要求书】:

1.一种蒸气传送系统,其包含汽化器与流动界面装置的组合及联锁系统,所述流动界 面装置界定用于可移除地接收所述汽化器且与所述汽化器连通的安装台,且所述联 锁系统具有防止在所述安装台处毒性蒸汽意外流到大气中的结构,其中所述联锁系 统包括用于在所述安装台处安装所述汽化器的可卸紧固件和可手动操作闭合装置, 所述闭合装置具有防止蒸汽自所述汽化器流动的闭合位置,所述闭合装置与防止接 近的装置相关联,所述防止接近的装置防止工作人员在所述闭合装置不处于闭合位 置时接近已安装的汽化器的所述可卸紧固件,藉以防止在卸下所述汽化器时毒性蒸 汽自所述汽化器流动。

2.根据权利要求1所述的系统,其中所述可卸紧固件包含可与所述安装台的相关联配 合配件啮合的固持螺钉或螺帽布局,且所述防止接近的装置包含与所述闭合装置的 部件相依移动的防止接近盖板,所述盖板经构造且配置以使得能够接近所述固持螺 钉或螺帽,以便仅当所述闭合装置在闭合位置中时拆卸所述汽化器。

3.根据权利要求2所述的系统,其中弹簧加载的气动可操作阀安装在所述汽化器上, 以允许蒸汽自所述汽化器流动,且所述闭合装置为机械超控装置,所述机械超控装 置经构造以不考虑气动压力的存在将所述气动可操作阀推动到闭合位置。

4.根据权利要求1所述的系统,其中所述界面装置经构造以与一组不同的汽化器一起 使用,所述汽化器携载具有不同汽化温度的不同固体馈入材料,所述系统包括辨识 系统,所述辨识系统经配置以辨识所安装的汽化器的表示其内含物的特性物理特 征,且使汽化器控制系统在适于所述所辨识的汽化器的内含物的条件下操作。

5.根据权利要求4所述的系统,其中所述辨识系统包含当汽化器在安装位置中时暴露 于所述汽化器的一组可致动开关,所述组开关适于与汽化器协作,所述汽化器以取 决于所述汽化器的内含物的独特型式携载一个或一个以上开关致动器形成物。

6.根据权利要求4所述的系统,其包括一组一个以上汽化器单元,所述组的汽化器专 用于分别含有具有不同汽化温度的不同固体馈入材料,所述汽化器单元具有用于辨 识的不同特性物理特征。

7.根据权利要求1所述的系统,其中离子源安装在真空腔室内,所述流动界面装置的 一端连接至所述汽化器且密封至所述真空腔室,且经构造以传输用于所述离子源的 蒸汽。

8.根据权利要求7所述的系统,其中所述离子源在离子植入器系统中,以提供用于植 入的离子。

9.根据权利要求8所述的系统,其中所述离子源将离子提供给射束线以用于植入目标 衬底中。

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