[发明专利]集成电路用真空机组控制装置无效
| 申请号： | 201010191806.5 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN102269985A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张利国;郭丽娟;薛玉茹;王光玉;张振厚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 110171 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成电路 真空机组 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种集成电路用真空机组控制装置，其特征在于：具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口，其中控制单元为控制核心，其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制信号，控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器；控制单元通过通讯模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。
2.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置，其特征在于：
所述通讯模块包括第1通讯模块及第2通讯模块，其中第1通讯模块采用RS485串口，用于一对多远程控制；第2通讯模块采用RS232串口，用于一对一近距离控制。
3.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置，其特征在于：所述各类模拟量传感器包括变送器、气体流量变送器、温度传感器、水流量传感器、功率变送器。
4.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置，其特征在于：还具有PLC兼容继电器接口，控制单元的控制输出端通过PLC兼容继电器接口选择性的连接PLC或继电器。
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