[发明专利]一种蒸发设备无效
| 申请号： | 201010191980.X | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN101838790A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 涂爱国 | 申请（专利权）人： | 涂爱国 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 韩洋;吴彦峰 |
| 地址： | 四川省德阳*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 设备 | ||
1.一种蒸发设备，其特征在于，该蒸发设备包括：
（a）至少一个蒸发源，能够加热使源材料气化产生源材料的蒸气；
（b）一个与蒸发源连接的盒子，该盒子具有线性出口，引导盒子中的蒸气流到衬底上；
（c）阻止材料沉积在所述盒子的内壁上的加热部件；
（d）外壳和分布在盒子和蒸发源周围的冷却管。
2.根据权利要求1所述的蒸发设备，其特征在于：盒子内部具有与蒸发源连接的导管，导管上分布有孔洞。
3.根据权利要求2所述的蒸发设备，其特征在于：导管上的孔洞不指向线性开口方向。
4.根据权利要求1所述的蒸发设备，其特征在于：盒子与蒸发源通过连接导管连接，连接导管外部具有加热部件。
5.根据权利要求1至4之一所述的蒸发设备，其特征在于：盒子上还连接有惰性气体导管，导管上具有孔洞，并在导管外具有对气体加热的部件。
6.根据权利要求1至4之一所述的蒸发设备，其特征在于：线性出口上连接有一个用来控制蒸发出蒸气方向的线性喷嘴。
7.根据权利要求6所述的蒸发设备，其特征在于：喷嘴上有小线性开口，喷嘴直接贴近基板。
8.根据权利要求1至4之一所述的蒸发设备，其特征在于：线性开口上方有一个挡板。
9.根据权利要求1所述的蒸发设备，其特征在于：蒸发源与导管之间有连接部件。
10.根据权利要求1所述的蒸发设备，其特征在于：还包括一个用来固定线性蒸发设备的架子，包括绝热部分和冷却外壳，冷却外壳布置在绝热部分的外边。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于涂爱国，未经涂爱国许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010191980.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液晶屏配向膜碎屑的清洗方法
- 下一篇：抗侵蚀莫来石砖制备原料和制备方法
- 同类专利
- 专利分类
