[发明专利]去除液体气泡的装置无效
申请号: | 201010192259.2 | 申请日: | 2010-05-27 |
公开(公告)号: | CN102258886A | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 黎源欣;杨秋峰 | 申请(专利权)人: | 亚泰半导体设备股份有限公司 |
主分类号: | B01D19/00 | 分类号: | B01D19/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 郭鸿禧;薛义丹 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 去除 液体 气泡 装置 | ||
1.一种去除液体气泡的装置,所述装置包括:
储存槽;
阀体,阀体的外部具有第一管路、第二管路及第三管路,第一管路的一端设置在储存槽上,所述阀体的内部相对阀体的外部转动,阀体的内部具有第一通孔和第二通孔,第一通孔通过第一连通管路与第二通孔连通;
其中,所述储存槽储存混合有很多气泡的液体,当第一通孔和第二通孔分别对应第一管路和第二管路时,浮至所述液体液面的气泡通过第一管路至第二管路排出;第二管路排出气泡后,通过转动所述阀体的内部使第一通孔和第二通孔分别对应第三管路和第一管路,从而使液体通过第一管路至第三管路排出。
2.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置,其中,所述第二管路的一端与所述储存槽连通,使储存槽回收所述液体。
3.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置,所述装置还包含操作设备,其中,所述第三管路连接操作设备。
4.如权利要求3所述的去除液体气泡的装置,其中,所述操作设备为工作机具、分析仪器或实验器具。
5.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置,其中,所述阀体利用人工、电路或伺服马达而转动,使第一通孔对应第一管路,第二通孔对应第二管路。
6.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置,其中,所述阀体利用人工、电路或伺服马达而转动,使第一通孔对应第三管路,第二通孔对应第一管路。
7.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置,其中,所述阀体的外部还具有第四管路、第五管路,第四管路与第二管路连通,第五管路的一端与所述储存槽连通,使储存槽回收所述液体。
8.如权利要求7所述的去除液体气泡的装置,其中,所述阀体的内部还具有第三通孔、第四通孔及第五通孔,第三通孔对应第三管路,第四通孔对应第四管路,第五通孔对应第五管路,并且第四通孔与第五通孔间通过第二连通管路连通。
9.如权利要求7所述的去除液体气泡的装置,其中,所述阀体的内部还具有第三通孔、第四通孔、第五通孔及第六通孔,并且第三通孔与第六通孔间通过第三连通管路连通,所述阀体的外部还具有第六管路,第三通孔对应第六管路,第四通孔对应第五管路,第五通孔对应第二管路,第六通孔对应第四管路。
10.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置,其中,所述液体为化学液体。
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