[发明专利]一种高灵敏度的电容传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201010192534.0 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN102269598A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 周汉秦;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 美新半导体(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所 31239 | 代理人： | 杨天娇 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 电容 传感器 及其 制造 方法 | ||
1.一种高灵敏度的电容传感器，其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其特征在于：所述固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。
2.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述固定叉指和可动叉指的结构完全相同。
3.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述固定叉指或可动叉指上的各个凸起部的形状相同。
4.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述凸起部的横截面是方形。
5.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述凸起部的大小相同。
6.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述每两个凸起部的间隔宽度相同。
7.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述固定叉指与可动叉指相互错位排列，即所述固定叉指的凸起部与可动叉指的凸起部部分重叠。
8.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述固定叉指包括第一固定叉指和第二固定叉指，所述第一固定叉指和第二固定叉指分别与可动叉指配合形成差分电容。
9.根据权利要求8所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述第一固定叉指和第二固定叉指分别有两组。
10.一种制造权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器的方法，其特征在于：其包括有以下步骤：
先用掩模将固定叉指和可动叉指的区域覆盖；
然后通过深槽刻蚀工艺将传感器的器件层上结构释放区刻蚀到一定深度；
再将固定叉指和可动叉指的区域中相邻凸起部的间隔部分的刻蚀窗口打开；
最后进一步通过深槽刻蚀工艺将结构释放区刻穿，将凸起部的间隔部分刻蚀到一定深度，即保留底部一定的高度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美新半导体(无锡)有限公司，未经美新半导体(无锡)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010192534.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
