[发明专利]吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术

说明书

所属技术领域

本发明涉及一种烷类化工产品-高纯乙硼烷制备方法的工艺技术，特别是一种吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术，适合于化工合成乙硼烷。

背景技术

目前，目前，微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石，是推动科技进步、产业发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心，其发展水平和产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如乙硼烷)，尤其是高纯电子气体作为电子化工材料这一新门类，是制约集成电路可靠性和成品率的重要因素。随着电子信息技术的飞速发展，集成度越来越高，对基础原材料(如乙硼烷)的纯度要求已经提高到了5N级(99.999％)，甚至7N以上，因此制备高纯电子特种气体技术更显得迫在眉睫。乙硼烷的制备技术尚未完善，制作方法工艺复杂，较难掌握，生产的产品尚不能全面满足相关电子产品的需要，质量差，问题多，只能用于制造低规格的产品，因此，给用户带来了较大的麻烦，这种状况严重地制约了电子技术的发展。

发明内容

本发明所要解决的问题在于，克服现有技术的不足，提供了一种吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术。该技术不仅工艺合理，制备简单，而且产品质量好，生产的乙硼烷纯度高达5N(99.999％)以上，并解决了环境污染问题。

本发明采用的技术方案是：粗B₂H₆(乙硼烷)气瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾气吸收器、产品收集器按其系统功能通过连接管线组装一体而构成。

本发明采用吸附分离提纯方式制取高纯乙硼烷的工艺方法。

主要是由发生乙硼烷的本发明装置连续供给粗乙硼烷，根据粗制乙硼烷的杂质含量，采用低温吸附、升温脱附的办法将B₂H₆中的CH₄、CO₂等除去，制备高纯乙硼烷，经液化、汽化系统形成成品。

其优点是产品收率高，纯度高(99.0％-99.9％)，杂质少且容易分离，除产品本身外，不带有其他有害、有毒的副产物，操作也较方便，是高纯乙硼烷制备的理想技术。

本发明的有益效果是，设计合理，使用方便，是理想的乙硼烷制备工艺技术。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1为本发明的结构示意图。

附图编号为：1、粗B₂H₆(乙硼烷)气瓶，2、干燥器，3、吸附器，4、真空泵，5、尾气吸收器，6、产品收集器，7、连接管线。

具体实施方式

参照图1，粗B₂H₆(乙硼烷)气瓶(1)、干燥器(2)、吸附器(3)、真空泵(4)、尾气吸收器(5)、产品收集器(6)按其系统功能通过连接管线(7)组装一体而构成。

本发明采用吸附分离提纯方式制取高纯乙硼烷的工艺方法。

主要是由发生乙硼烷的本发明装置连续供给粗乙硼烷，根据粗制乙硼烷的杂质含量，采用低温吸附、升温脱附的办法将B₂H₆中的CH₄、CO₂等除去，制备高纯乙硼烷，经液化、汽化系统形成成品。

其优点是产品收率高，纯度高(99.0％-99.9％)，杂质少且容易分离，除产品本身外，不带有其他有害、有毒的副产物，操作也较方便，是高纯乙硼烷制备的理想技术。