[发明专利]一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法

权利要求书

1.一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法，通过底部热蒸发源将金属膜料蒸镀到热蒸发源上方的样品之上，其特征在于：在热蒸发源与样品输送机构之间设一狭缝型准直装置，将从热蒸发源射出的发散性金属分子过滤，形成垂直朝向样品基材的金属分子流；其中所述准直装置的狭缝深宽比小于样品基材表面浮雕结构的深宽比的一半。

2.根据权利要求1所述的一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法，其特征在于：所述热蒸发源为一个以上对应于准直装置狭缝的坩埚一字排列形成阵列式结构。

3.根据权利要求2所述的一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法，其特征在于：热蒸发源的坩埚呈几何线性结构，纵向尺寸大于横向尺寸且与被镀膜样品基材的宽幅相匹配，横向尺寸与所述样品基材表面浮雕结构的深宽比及所述准直装置狭缝的深宽比相关联。

4.根据权利要求2所述的一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法，其特征在于：所述准直装置下端面与热蒸发源的距离D及蒸发源坩埚的横向尺寸w之间满足：其中H为狭缝深度、G为狭缝宽度。

5.根据权利要求1所述的一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法，其特征在于：所述准直装置的狭缝为由两片带凹槽的平板拼接而成，两片以上的平板顺次拼接形成线性排列的狭缝。

6.根据权利要求1所述的一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法，其特征在于：所述样品基材的蒸镀表面与所述准直装置上端面间的距离L满足：L≤0.5H，其中H为狭缝深度。

7.根据权利要求1所述的一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法，其特征在于：所述样品输送机构为由双轴卷绕方式通过所述狭缝型准直装置上方。

8.根据权利要求1所述的一种连续垂直热蒸发的金属镀膜方法，其特征在于：所述样品基材表面浮雕结构的深宽比至少大于1。