[发明专利]加速度传感器元件及具有该元件的加速度传感器

权利要求书

1.一种带盖的加速度传感器元件，包括：重锤部，包围重锤部的支承框部，将重锤部连接并保持到支承框部上的具有挠性的多个梁部，设置在梁部上的压电电阻元件以及连接它们的配线，将和支承框部一起包围重锤部的周围的上盖及下盖接合到支承框部的表面和背面上，根据压电电阻元件的电阻的变化，检测出上盖、支承框、下盖叠层的厚度方向的第一轴方向的加速度以及在与之垂直的平面内的第二轴及在前述平面内垂直于第二轴的第三轴中的至少一个轴向方向的加速度，其特征在于，

前述支承框部被分离槽分离成内框和包围内框周围的外框，前述上盖及下盖被接合到前述外框上，前述内框被具有挠性的多个内框支承部连接保持到前述外框上，

前述梁部，沿着前述第二轴和第三轴中的至少一方，连接到重锤部的两侧，内框支承部，从前述第二轴和第三轴的至少一方，沿着外框的变形的影响难以传递给梁部的方向旋转规定的角度，连接到内框的两侧。

2.如权利要求1所述的带盖的加速度传感器元件，其特征在于，前述梁部，沿着前述第二轴和第三轴的双方分别连接到重锤部的两侧，内框支承部从前述第二轴和第三轴的双方沿着外框的变形的影响难以传递给梁部的方向旋转规定的角度，连接到内框的两侧上。

3.如权利要求2所述的带盖的加速度传感器元件，其特征在于，前述梁部沿着前述第二轴和第三轴的双方分别连接到重锤部的两侧，内框支承部从前述第二轴和第三轴的双方旋转大致45度，连接到内框的两侧上。

4.如权利要求1所述的带盖的加速度传感器元件，其特征在于，在检测前述第一轴和第二轴的加速度的同时，前述梁部沿着第二轴连接到重锤部的两侧，内框支承部在前述平面内在从第二轴旋转大致45度的方向上连接于内框的两侧。

5.如权利要求1所述的带盖的加速度传感器元件，其特征在于，在检测前述第一轴和第二轴的加速度的同时，前述梁部沿着第二轴连接到重锤部的两侧，内框支承部在前述平面内在与第二轴垂直的第三轴的方向上，连接到内框的两侧。

6.如权利要求1至5中任何一项所述的带盖的加速度传感器元件，其特征在于，在前述内框支承部或梁部中的至少一个上，设置压缩应力吸收部。

7.如权利要求1至5中任何一项所述的带盖的加速度传感器元件，其特征在于，前述梁部及内框支承部具有相同的厚度，并且，其厚度比前述重锤部及支承框部薄。

8.如权利要求1至5中任何一项所述的带盖的加速度传感器元件，其特征在于，前述内框支承部的弯曲刚度比前述梁部高。

9.一种加速度传感器，其特征在于，将如权利要求1至5中任何一项所述的带盖的加速度传感器元件和控制用IC芯片粘结到引线框上，利用金属导线将引线框、IC芯片的电极和带盖的加速度传感器元件的电极之间连接，并利用模塑树脂将其密封。