[发明专利]一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置

权利要求书

1.一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法，其特征在于，包括步骤：

S1：在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；

S2：当判断出所述机台无动作时，发出报警。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括：

S11：当所述机台的研磨机头处于研磨位置时，开始计时；

S12：获取当前计时时间，并将当前计时时间与设定值进行比较，如果当前计时时间大于设定值，则判定所述机台无动作，并转至步骤S2；反之，则重复执行该步骤。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述步骤S2之后还包括步骤：

S3：当所述机台的研磨机头处于非研磨位置时，停止计时；或者，

S3’：当判断出所述机台无动作时，停止计时。

4.一种用于晶片加工机台的防呆计时报警装置，其特征在于，包括：

判断模块，用于在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；

报警模块，用于当判断出所述机台无动作时，发出报警。

5.根据权利要求4所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述机台上的信号输出端子包括用于表示所述机台的研磨机头位于研磨位置的第一输出端子；

所述判断模块为具有判断计时时间是否大于设定值功能的计时器，所述计时器包括用于触发该计时器开始计时的第一输入端和用于输出计时时间大于设定值信号的输出端；其中，

所述计时器的第一输入端与所述机台上的第一输出端子电连接；

所述报警模块为报警器，所述报警器的输入端与所述计时器的输出端电连接。

6.根据权利要求5所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述机台的信号输出端子还包括用于表示所述机台的研磨机头位于非研磨位置的第二输出端子；

所述计时器还包括复位端，所述复位端与所述机台上的第二输出端子电连接。

7.根据权利要求6所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述机台为美国NOVELLUS公司生产的化学机械研磨机台IPEC776。

8.根据权利要求7所述的防呆计时报警装置，其特征在于，

所述机台向所述计时器的第一输入端输出高电平信号触发所述计时器开始计时，所述机台向所述计时器的复位端输出高电平信号时所述计时器计时清零，所述计时器在其计时时间达到设定值时向所述报警器输出信号，触发报警器报警。

9.根据权利要求8所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述设定值为500s。

10.一种晶片加工机台，其特征在于，设置有如权利要求4至9中任一权利要求所述的防呆计时报警装置。