[发明专利]用于制造液体排出头的方法

权利要求书

1.一种用于制造液体排出头的方法，该液体排出头包括：硅基板，其具有一个面；能量产生元件，其用于产生排出液体用的能量并被设置在所述一个面侧；以及供给口，其被设置成贯通所述硅基板的所述一个面以及所述一个面的相反面，用于将液体供给到所述能量产生元件，所述方法包括：

将含有金属氮化物的第一层设置于所述硅基板的所述一个面上的至少与所述供给口对应的部分；

将第二层设置于所述第一层上，所述第二层由铝、铜和金中的任何一种及其合金构成；

通过反应离子蚀刻沿从所述相反面朝向所述一个面的方向蚀刻所述硅基板的与所述供给口对应的部分，使得蚀刻区域到达所述第一层；以及

去除所述第一层的与所述供给口对应的部分，然后去除所述第二层的与所述供给口对应的部分，由此形成所述供给口。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在所述硅基板的所述一个面上形成材料层，从而由所述材料层形成所述第一层和用于产生作为所述能量的热能的发热层，其中所述材料层由包含用于形成所述第一层的所述金属氮化物的材料构成。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述金属氮化物是TaSiN。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述金属氮化物是WSiN。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二层由铝和铜的合金构成。