[发明专利]一种卧式高温真空镀膜生产线

权利要求书

1.一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架、四个真空缓冲箱体和至少一个真空镀膜箱体、基片架传送机构、自动装卸片机构，其特征在于：所述至少一个真空镀膜箱体设置在所述机架上部中间，所述四个真空缓冲箱体分为两组，分别设置在所述真空镀膜箱体两端的机架上，所述真空缓冲箱体之间及真空缓冲箱体与真空镀膜箱体之间设置有气动转板阀，在所述机架两端各设有一个自动装卸片机构；在所述机架的下部及所述真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部分别设有与所述自动装卸片机构驳接的基片架传送机构；所述真空镀膜箱体内还设有靶枪、加热器。

2.根据权利要求1所述的一种卧式高温真空镀膜生产线，其特征在于：所述真空缓冲箱体上连接有抽真空罗茨泵或直联泵。

3.根据权利要求2所述的一种卧式高温真空镀膜生产线，其特征在于：所述真空镀膜箱体上连接有抽真空分子泵，顶部设有靶门或抽气口门。

4.根据权利要求3所述的一种卧式高温真空镀膜生产线，其特征在于：所述加热器设置在所述真空镀膜箱体中的所述基片架传送机构上、下方，在所述加热器与所述真空镀膜箱体之间设有至少两层镜面朝向所述加热器的镜面反射板。

5.根据权利要求4所述的一种卧式高温真空镀膜生产线，其特征在于：所述基片架传送机构包括传动电机、同步长轴、传动轴、同步带、同步轮、摩擦轮，所述同步长轴安装于所述真空镀膜箱体两侧箱板之间并由所述传动电机驱动，所述同步长轴两端各设有一个同步轮；所述传动轴为多个，平行均布在所述真空镀膜箱体两侧箱板上，所述多个传动轴的轴线处于同一直线上；所述每一个传动轴的一端设有所述同步轮，两两相邻的传动轴之间通过所述同步带驱动，所述每一个传动轴的另一端设有所述摩擦轮；所述同步长轴两端设置的同步轮分别通过同步带驱动设于真空镀膜箱体该端侧箱板上的传动轴；所述摩擦轮外圆周面上设有与所述摩擦轮同轴线的导向圆环槽或导向圆环台阶，所述导向圆环槽的横截面为半圆弧形，所述圆环台阶的横截面为1/4圆弧形。

6.根据权利要求5所述的一种卧式高温真空镀膜生产线，其特征在于：所述自动装卸片机构包括机架、第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构、第三基片架传送机构、第二基片传送机构，在所述机架的一端设有所述第一基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有导向光杆和丝杆，所述导向光杆和丝杆垂直于所述机架底面且相互平行；在所述机架上设有驱动所述丝杆正反转的电机；所述第二基片架传送机构上设有螺孔及通孔，所述螺孔旋装在所述丝杆上、所述通孔套装在所述导向光杆上；所述第二基片传送机构上也设有通孔，分别套装在所述丝杆及导向光杆上，所述第二基片传送机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方；所述第二基片传送机构上设有多个摩擦传动轮，所述摩擦传动轮的安装尺寸处于所述第二基片架传送机构中心设置的矩形通孔正投影范围内；所述第二基片传送机构与所述第二基片架传送机构上分别设置有驱动电机；所述第一基片架传送机构上方平行设置有第三基片架传送机构，所述第一基片架传送机构、第三基片架传送机构沿所述机架高度方向有一定间距。