[发明专利]单晶硅片制绒液的添加剂及使用方法

权利要求书

1.用于单晶硅片制绒液的添加剂，其特征在于其中包含的组分为：乳酸、维生素和余量的水，其中所述水优选为去离子水。

2.根据权利要求1所述的添加剂，其中乳酸与水的体积比为1-10∶100，维生素与水的重量比为1-3∶100，优选乳酸与水的体积比为1-5∶100，维生素与水的重量比为0.1-0.5∶100。

3.根据权利要求1或2所述的添加剂，其中所述维生素为维生素C。

4.一种用于单晶硅片表面处理用的制绒剂的配制方法，包括

(1)将重量百分含量为0.5-10％的NaOH和3-9％的异丙醇溶于去离子水中，得到碱性制绒液，

(2)将权利要求1-3中任意一项的添加剂加入步骤(1)中的碱性制绒液中，得到制绒剂，其中所述添加剂与制绒液的重量比为1-2∶100。

5.一种用于单晶硅片表面处理用的制绒剂的配制方法，包括

(1)将重量百分含量为1.1％的NaOH和6％的异丙醇溶于去离子水中，得到碱性制绒液，

(2)将权利要求1-3中任意一项的添加剂加入步骤(1)中的碱性制绒液中，得到制绒剂，其中所述添加剂与制绒液的重量比为1-2∶100。

6.一种单晶硅片制绒方法，其特征在于，将权利要求1-3中任意一项的添加剂加入碱性制绒液中，然后将单晶硅片浸入到添加有添加剂的制绒液中进行制绒，制绒时，温度为70-80℃，制绒时间为720-900s。

7.根据权利要求6所述的制绒方法，其中所述添加剂与制绒液的重量比为1-2∶100。

8.根据权利要求7的制绒方法，其特征在于所述碱性制绒液通过将重量百分含量为0.5-10％的NaOH和3-9％的异丙醇溶于去离子水中制成。

9.根据权利要求7的制绒方法，其特征在于所述碱性制绒液通过将重量百分含量为1.1％的NaOH和6％的异丙醇溶于去离子水中制成。