[发明专利]一种可控制备纳米或微米器件的方法有效
| 申请号： | 201010195155.7 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101863448A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 魏昂;黄维;潘柳华 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82B3/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 210003 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可控 制备 纳米 微米 器件 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种可控制备纳米或微米器件的方法，其特征在于，该方法制备的器件包含单根或数根ZnO纳米或微米结构，具体步骤如下；
a.搭建器件所用的ZnO纳米或微米结构：室温下，在容器中配置0.5mol/L的ZnCl2溶液，逐渐滴加NH3·H2O至pH＝10.1-10.8，放入清洗干净的玻璃衬底，密封容器后置于80-120℃的恒温干燥箱生长3-5个小时，得到长度20-35μm的ZnO纳米/微米结构；
b.电极：在玻璃衬底上用磁控溅射法或热蒸镀方法制备一层金属膜，然后用锋利的刀具刻划出为5-15μm的狭缝而形成；
c.单根ZnO纳米或微米器件的搭建：
1)将生长有ZnO纳米或微米结构的衬底置于酒精溶液中超声10-20分钟，取出衬底，重新加入酒精，配制成ZnO浓度适中的溶液，之后再超声10-20分钟；
2)将刻划好的电极放置在放大倍率为100-200倍透射模式的显微镜下，将配制好的溶液滴加在电极上，给电极两端加上4-6V、5-6MHZ的高频电场，反应1-10分钟；将电极取出，用去离子水清洗后，在烘箱中烘干、保存。
2.根据权利要求1所述方法，其特征在于该方法制备用于气体传感、生物传感、紫外传感的纳米或微米器件。
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