[发明专利]一种生产超纯氨水的方法

权利要求书

1.一种生产超纯氨水的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：将液态氨气化并将氨气导入超声波净化塔，该超声波净化塔下部设置超声波雾化器，超声波雾化器内装有超纯水，该超声波雾化器产生细微氨水粒子，利用细微氨水粒子吸附氨气中的杂质，得到的纯化氨气经过滤器过滤后进入产品吸收塔，该氨气与产品吸收塔内的超纯水结合得到超纯氨水。

2.根据权利要求1所述的一种生产超纯氨水的方法，其特征在于，所述的超声波净化塔内的温度为0～50℃，压力为0.08～0.8MPa。

3.根据权利要求1所述的一种生产超纯氨水的方法，其特征在于，所述的超声波净化塔加入预处理药剂，所述的预处理药剂为过硫酸铵、过氧化氢或磷酸。

4.根据权利要求3所述的一种生产超纯氨水的方法，其特征在于，所述的预处理药剂的加入量为通过超声波净化塔的氨气重量的0.01～1％。

5.根据权利要求1所述的一种生产超纯氨水的方法，其特征在于，所述的细微氨水粒子是经超声波雾化器雾化超纯水后与部分氨气结合得到的，细微氨水粒子的粒径为0.1～30μm。

6.根据权利要求1所述的一种生产超纯氨水的方法，其特征在于，所述的细微氨水粒子与通过超声波净化塔氨气的重量比为1∶(10～300)。

7.根据权利要求1所述的一种生产超纯氨水的方法，其特征在于，所述的产品吸收塔内的温度为0～50℃，压力为0.04～0.6MPa。