[发明专利]一种超精密平台调平装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种调平装置。

背景技术

随着科学技术的不断发展，民用和国防等领域对超精密载物平台的需求不断增加，对超精密平台的结构、调整装置和稳定性的要求也越来越高。例如超精密机床主轴的调平、各种显微镜的支撑系统、光学成像及光学检测系统的基准平台、微小机构及零件的装配平台等。

目前，一般的调平装置采用单轴螺旋式调整，采用此结构存在调整精度低、稳定性差等问题；自动调平装置往往需要复杂的结构和较大的体积，且成本较高，操作复杂、应用范围局限。

发明内容

本发明的目的是为了解决目前单轴螺旋式调整的调平装置存在调整精度低、稳定性差及自动调平装置需要复杂的结构和较大的体积、成本较高、操作复杂和应用范围局限的问题，提出了一种超精密平台调平装置。

本发明为解决上述技术问题采取的技术方案是：所述调平装置由槽形底座、水平垂直调整机构、平台、水平垂直调整定位机构和垂直定位机构构成，所述平台由“00”级大理石平板制成，水平垂直调整机构由第一斜垫、第一底座、第一调整机构、第一平面垫块和第一球头调整垫块构成，所述水平垂直调整定位机构由第一锁紧件、第二球头调整垫块、第二平面垫块、第二调整机构、第二底座和第二斜垫构成，所述垂直定位机构由第三平面垫块、第三球头调整垫块和第二锁紧件构成，槽形底座的两个上端面中的一个上装有第二底座，槽形底座的两个上端面中的剩余一个上装有第一底座和第三平面垫块，第一底座、第二底座和第三平面垫块呈等腰三角形布置；

所述第一底座和第二底座均为L形，L形第一底座的水平板的上端面为斜面，第一底座的斜面靠近槽形底座的槽的一端的高度小于第一底座的斜面另一端的高度，第一斜垫设置在第一底座的斜面上，所述第一斜垫和第一底座通过第一调整机构连接，所述第一平面垫块设置在第一斜垫的上端面上，所述第一球头调整垫块的球面与第一平面垫块的上端面接触，所述第一球头调整垫块的上端面与平台的下端面固接；

L形第二底座的水平板的上端面为斜面，第二底座的斜面靠近槽形底座的槽的一端的高度小于第二底座的斜面另一端的高度，第二斜垫设置在第二底座的斜面上，第二斜垫和第二底座通过第二调整机构连接，第二平面垫块上设有与第二球头调整垫块相匹配的第一凹槽，所述第二球头调整垫块装在第一凹槽内，所述第二球头调整垫块的上端面与平台的下端面固接，所述第二球头调整垫块、第二平面垫块、第二斜垫和第二底座相对应处设有第一通孔，所述第一锁紧件穿过平台和第一通孔与槽形底座连接；

所述第三平面垫块设在槽形底座上，所述第三平面垫块上设有V形凹槽，所述第三球头调整垫块的球头装在V形凹槽内，所述第三球头调整垫块的上端面与平台的下端面固接，所述第三球头调整垫块、第三平面垫块相对应处设有第二通孔，所述第二锁紧件穿过平台和第二通孔与槽形底座连接。

本发明具有以下有益效果：本发明的第一球头调整垫块的球面与第一平面垫块的平面接触对、第三球头调整垫块的球面与V形凹槽的锥面接触对和第二球头调整垫块的球面和凹槽的球面接触对共同作用，限制了平台沿x、y、z轴三个方向的平动和绕x、y、z轴的转动自由度，这样限制了平台的三个平动自由度和三个转动自由度，满足六点定位原理，具有较高的性能稳定；本发明采用三点球头支撑方式，结构简单、体积小、应用范围广且成本较低；本发明操作简单，对水平和垂直两个方向同时调整，可以获得很高的调整精度，平台由“00”级大理石平板制成，分辨率可达0.1μm。

附图说明

图1是本发明的整体结构主视图，图2是图1的B-B剖视图，图3是图1的C-C剖视图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1说明本实施方式，本实施方式的调平装置由槽形底座1、水平垂直调整机构2、平台9、水平垂直调整定位机构10和垂直定位机构18构成，所述平台9由“00”级大理石平板制成，水平垂直调整机构2由第一斜垫3、第一底座4、第一调整机构24、第一平面垫块7和第一球头调整垫块8构成，所述水平垂直调整定位机构10由第一锁紧件11、第二球头调整垫块12、第二平面垫块13、第二调整机构25、第二底座16和第二斜垫17构成，所述垂直定位机构18由第三平面垫块19、第三球头调整垫块20和第二锁紧件21构成，槽形底座1的两个上端面中的一个上装有第二底座16，槽形底座1的两个上端面中的剩余一个上装有第一底座4和第三平面垫块19，第一底座4、第二底座16和第三平面垫块19呈等腰三角形布置；