[发明专利]一种投影物镜

权利要求书

1.一种投影物镜，用于把位于所述投影物镜的物平面内的图案投射到所述投影物镜像平面内，其特征在于从所述物平面开始沿光轴依次设置：

具有正光焦度的第一透镜组；

具有正光焦度的第二透镜组；

光焦度接近零的第三透镜组；

具有正光焦度的第四透镜组；

其中：所述各透镜组满足以下关系式：

0.42＜f₂/f₁＜0.58    (1)

1.94＜f₄/f₁＜1.53    (2)

f₁：第一透镜组的焦距；f₂：第二透镜组的焦距；f₄：第四透镜组的焦距。

2.根据权利要求1所述的投影物镜，其特征在于：

所述第一透镜组由五片透镜构成，光焦度依次为负、正、正、负、负；第一透镜组包含一子透镜组，所述子透镜组包括第一透镜组的第二、第三透镜；

所述第二透镜组由六片透镜构成，光焦度依次为负、正、正、正、正、负；所述第二透镜组包含第一和第二子透镜组，第一子透镜组包括第二透镜组的第一、第二、第三透镜，第二子透镜组包括第二透镜组的第四、第五、第六透镜；

所述第三透镜组由四片透镜构成，四片透镜的光焦度依次为负、负、正、正；所述第三透镜组包含第一和第二子透镜组，第一子透镜组光焦度为负，包括第三透镜组的第一、第二透镜，第二子透镜组光焦度为正，包括第三透镜组的第三、第四透镜；所述第三透镜组的光焦度接近于零；

所述第四透镜组由两片透镜构成，光焦度依次为正、负；

其中，各所述透镜满足以下关系式：

0.36＜f_1-1n/f₁＜0.47         (3)

0.7＜|f_2-1n/f_2-2n|＜1.4      (4)

-0.77＜f_3-1n/f_2-2n＜-0.45    (5)

-0.62＜f_4-1/f_4-2＜-0.35      (6)

其中：f₁：第一透镜组的焦距；f_1-1n：第一透镜组的子透镜组的焦距；f_2-1n：第二透镜组的第一子透镜组的焦距；f_2-2n：第二透镜组的第二子透镜组的焦距；f_3-1n：第三透镜组的第一子透镜组的焦距；f_3-2n：第三透镜组的第二子透镜组的焦距；f_4-1：第四透镜组第一透镜的焦距；f_4-2：第四透镜组第二透镜的焦距。

3.根据权利要求2所述的投影物镜，其特征在于物镜材料阿贝数满足以下关系：

1.61＜V_1-1/V_1-2＜2.4     (7)

0.52＜V_2-1/V_2-2＜0.84    (8)

0.83＜V_4-1/V_4-2＜1.15    (9)

V_1-1和V_1-2：第一透镜组第一透镜和第二透镜的阿贝数；V_2-1和V_2-2：第二透镜组第一透镜和第二透镜的阿贝数；V_4-1和V_4-2：第四透镜组第一透镜和第二透镜的阿贝数。

4.根据权利要求3所述投影物镜，其特征在于所述投影物镜的放大倍率为1.25倍。

5.根据权利要求3所述投影物镜，其特征在于第一透镜组第一透镜为双凹透镜，由低色散材料构成；第一透镜组第二透镜为近似平凸透镜，近似平面面向物平面，由高色散材料构成；第一透镜组第三透镜为双凸透镜，由低色散材料构成；第一透镜组第四透镜为弯月式透镜，前后表面近似同心，凹面面向像平面，由高色散材料构成；第一透镜组第五透镜为面向物平面的弯月透镜，由低色散材料构成。