[发明专利]具有改进加料能力的制造多晶锭的系统有效

专利信息
申请号: 201010197294.3 申请日: 2010-06-02
公开(公告)号: CN101871124A 公开(公告)日: 2010-10-27
发明(设计)人: 王敬 申请(专利权)人: 王敬
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B35/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 黄德海
地址: 100084 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 具有 改进 加料 能力 制造 多晶 系统
【权利要求书】:

1.一种制造多晶锭的系统,包括:

上炉体;

下炉体,所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间;

坩埚,所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料;

至少一个加热器,所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料;

坩埚保持器,所述坩埚保持器用于保持所述坩埚;

隔热部件,所述隔热部件容纳在所述炉体空间内,并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动,以控制所述坩埚内的多晶硅锭的定向凝固,

盖板,所述盖板用于在坩埚被加热时盖住坩埚的开口端;其中

所述坩埚保持器和盖板之一上形成有至少两个导向件,所述盖板通过所述导向件相对于所述坩埚保持器沿着纵向可滑动。

2.根据权利要求1所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述盖板包括:

碳-碳复合材料层,所述碳-碳复合材料层中央形成有第一通气孔;以及

设置在所述碳-碳复合材料层下表面之上的隔离层,所述隔离层的中央形成有与第一通气孔对应的第二通气孔。

3.根据权利要求2所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述坩埚保持器的顶壁上形成有至少两个导向件;

所述盖板形成有导向孔,所述导向孔对应于所述导向件,所述导向件通过所述导向孔可上下自由滑动。

4.根据权利要求3所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述至少一个加热器形成为顶部加热器和侧加热器。

5.根据权利要求4所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述碳-碳复合材料层上设置有导气管,所述导气管的中心与所述第一通气孔中心纵向一致。

6.根据权利要求3所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述导向件相对于纵向方向形成有0.1-15度的锥度,且所述导向件从顶部部至底部逐渐变细。

7.根据权利要求2所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述隔离层是从包括含硅化合物、耐1600℃金属、硼化物、碳化物、氮化物、以及上述物质的混合物中选择,其中,

所述含硅化合物包括碳化硅、氮化硅、硼化硅,

所述耐1600℃金属包括钨、钼、钽、铌、钒、铬、钛、锆及其合金,

所述硼化物包含碳化硼、氮化硼、硼化锆、硼化镧、硼化钛、硼化钽、硼化铬、硼化钨、硼化钼、硼化钒、硼化铌,

所述碳化物包括碳化铬、碳化钽、碳化钒、碳化锆、碳化钨、碳化钼、碳化钛、碳化铌,

所述氮化物包括氮化钛、氮化钨、氮化钼、氮化铬、氮化铌、氮化锆、氮化钽、氮化钒。

8.如权利要求7所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述隔离层由通过气相沉积方法在所述盖板下表面上形成的膜构成。

9.如权利要求7所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述隔离层由固定于所述盖板下表面上的垫衬所构成。

10.根据权利要求3所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述导向件由石墨形成且所述导向件的高度为坩埚高度的1/4-1/2。

11.根据权利要求1所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述盖板的边缘形成有所述导向件,且所述坩埚保持器的侧壁上沿着纵向方向形成有与所述导向件对应的导向槽。

12.根据权利要求1所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述盖板的边缘形成有所述导向件,且所述坩埚保持器的侧壁中形成有用于导向所述导向件的导向孔。

13.根据权利要求1所述的制造多晶锭的系统,其特征在于,所述盖板的边缘形成有导向件,所述导向件与所述坩埚保持器的外侧壁相匹配,以沿着所述坩埚保持器的外侧壁纵向可滑动。

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