[发明专利]用于横向高压器件和智能功率集成电路的厚膜SOI材料

说明书

技术领域

本发明属于微电子技术领域，涉及面向横向高压器件和智能功率集成电路(SPICs)应用的具有逆向杂质浓度分布的P型硅埋层和薄隐埋氧化层的SOI(绝缘层上硅)材料。

背景技术

SOI横向高压器件由于其较小的体积、重量，很高的工作频率，较高的工作温度、很高的电流密度、较强的抗辐照能力，较低的成本和较高的可靠性，和便于智能化集成用于实现智能功率集成电路(SPICs)，作为无触点功率电子开关、功率驱动器或者射频(RF)功率放大晶体管在智能电力电子、高温环境电力电子、空间电力电子、交通工具电力电子、能源、采矿和通信等技术领域中具有广泛应用。

现有用于制作SOI横向高压器件的SOI材料多为厚隐埋氧化层、纵向掺杂类型单一的薄顶层硅膜SOI材料。采用这种SOI材料制作的SOI横向高压器件的纵向耐压主要靠厚隐埋氧化层承担。一方面，由于氧化层的热导率非常低，厚度又很大，给这类高压、大电流、高功率器件带来严重的自加热问题和苛刻的散热条件要求，器件在使用过程中必须安装笨重的散热器，很不利于节能降耗、保护环境、智能功率集成和科研、技术与产业发展；另一方面，薄顶层硅膜成为降低器件通态电阻的瓶颈，限制的器件耐压和电流容量密度的进一步提高，以及器件结构的改进，严重阻碍了器件产品、技术和产业的发展。

发明内容

本发明目的在于针对现有技术的不足，提出一种新型具有逆向杂质浓度分布的P型硅埋层和薄隐埋氧化层的SOI(绝缘层上硅)材料。

本发明依次包括半导体衬底、薄隐埋氧化层、P型硅隐埋层和N型顶层硅膜；薄隐埋氧化层将半导体衬底与P型硅隐埋层完全隔离，P型硅隐埋层的上表面被N型顶层硅膜完全覆盖。

半导体衬底和N型顶层硅膜中的杂质为均匀分布；其中，半导体衬底的材料为硅，厚度为100～300μm，掺杂杂质元素为硼、掺杂浓度为10¹³～10¹⁵cm^-3；N型顶层硅膜的厚度为2～70μm，掺杂杂质元素为磷、掺杂浓度为5×10¹⁴～2×10¹⁶cm^-3；薄隐埋氧化层的厚度为50～300nm，材料为二氧化硅。

P型硅隐埋层的材料为硅，厚度为22～145μm，掺杂杂质元素包括铝、镓、硼，铝掺杂浓度为10¹⁴～2×10¹⁶cm^-3、镓掺杂浓度为10¹⁶～10¹⁸cm^-3、硼掺杂浓度为10¹⁹～10²¹cm^-3；每种掺杂杂质的掺杂浓度在水平方向上均匀分布、在竖直方向上按照如下函数变化：

铝的杂质浓度沿y方向的分布函数为：