[发明专利]具有截断功能的线锯

说明书

技术领域

本发明涉及硅片切割设备技术领域，特别是一种具有截断功能的线锯。

背景技术

多晶硅锭经过开方后成为多晶硅棒，多晶硅棒的头尾段在切片前需要截取，现在国产截断机截断一块需要20min/根，并且会产生2mm的锯缝损失和3mm左右的斜面。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：使用现有的截断机截断多晶硅棒的头尾段，截断速度慢，截断损耗多。故需要对现有的硅棒切片用线锯进行改造，使其具有截断功能，并且可以减少截断损耗。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有截断功能的线锯，包括左右两个导轮、切割线和切割台，切割线相互平行的缠绕在两个导轮上形成水平的切割线网，对现有线锯的改进在于，切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网，切割线网的段数与固定于切割台上的未截断头尾的硅块的块数相同，每段切割线网对应一块硅块，并且每段切割线网的切割范围仅限硅块中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位，切割台带动硅块垂直通过运动的切割线网，将硅块的头尾端与中间的可用部位切割开并且中间的可用部位被切割成硅片。

使切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网的一种具体实现方式是：每两段相邻切割线网之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑 轮，前一段切割线网末端引出的切割线通过在该切割线一侧的滑轮引出，然后通过该组中位于另一侧的滑轮导入至后一段切割线网区域，并通过在两个导轮上缠绕，形成后一段切割线网。

未截断头尾的硅块的块数为三块，通过两组滑轮形成三段切割线网。

本发明的有益效果是：使用该线锯切割多晶硅棒可以不需要截断机截断，降低制作时间，硅棒切缝只有0.16mm，没有斜面损失，可降低硅棒两端因切割应力导致的破片损失，破片损失可从1％降低到0.3％。

附图说明

图1是本发明的俯视状态结构示意图；

图2是本发明的主视状态结构示意图；

图3是本发明的侧视状态结构示意图；

图中：1、导轮；2、切割线；3、切割台；4、切割线网；5、硅块；6、可用部位；7、滑轮。

具体实施方式

如图1、2、和3所示，一种具有截断功能的线锯，包括左右两个导轮1、切割线2和切割台3，切割线2相互平行的缠绕在两个导轮1上形成水平的切割线网4，切割线2在导轮1上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网4，切割线网4的段数与固定于切割台3上的未截断头尾的硅块5的块数相同，每段切割线网4对应一块硅块5，并且每段切割线网4的切割范围仅限硅块5中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位6，切割台3带动硅块5垂直通过运动的切割线网4，将硅块5的头尾端与中间的可用部位6切割开并且中间的可用部位6被切割成硅片。

使切割线网分为对段的一种具体实现方式是：所述的每两段相邻切割线网4之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮7，前一段切割线网4末端引 出的切割线2通过在该切割线2一侧的滑轮7引出，然后通过该组中位于另一侧的滑轮7导入至后一段切割线网区域，并通过在两个导轮1上缠绕，形成后一段切割线网4。

下面以切割三块多晶硅棒为例进行说明：

三块未截断头尾的硅块4一字排列固定在切割台3，设置两组四个滑轮7，第一段切割线网4末端引出的切割线2通过在该切割线2一侧的滑轮7引出，然后通过另一侧的滑轮7导入至第二段切割线网区域，并通过在两个导轮1上缠绕，形成第二段切割线网4；第二段切割线网4末端引出的切割线2通过在该切割线2一侧的滑轮7引出，然后通过另一侧的滑轮7导入至第三段切割线网区域，并通过在两个导轮1上缠绕形成后第三段切割线网4，每段切割线网4都对应一块硅块5的中间可用部分6。