[发明专利]一种紫外激光应用的光学镜头

权利要求书

1.一种紫外激光应用的光学镜头，其特征在于，包括：位于光束的入射方向依序排列的第一、第二、第三、第四透镜，其中，第一透镜为双凹型透镜；第二透镜为弯月型透镜，曲面向着光线的入射方向弯曲；第三透镜为平凸型透镜；第四透镜为凸平型透镜；其中，本光学镜头用于镜头的视场角为50°、焦距为80mm、波长为355nm的紫外激光、加工范围为50mm*50mm加工区域。

2.如权利要求1所述的光学镜头，其特征在于：在第四透镜的前方还设有一平板镜。

3.如权利要求1所述的光学镜头，其特征在于：所述镜头的入瞳直径为12mm。

4.如权利要求1所述的光学镜头，其特征在于：所述第一透镜的两个曲面S1、S2曲率半径分别为R1＝-27mm、R2＝430mm，其光轴上的中心厚度d1＝2mm；第二透镜的两个曲面S3、S4曲率半径分别为R3＝-63mm、R4＝-43mm，其光轴上的中心厚度d3＝6mm；第三透镜两个曲面S5、S6曲率半径分别为R5＝0mm、R6＝-50mm，其光轴上的中心厚度d5＝15mm，第四透镜两个曲面S7、S8曲率半径分别为R7＝110mm、R8＝0mm，其光轴上的中心厚度d7＝9mm，其中，所有透镜曲率半径的公差范围为5％。

5.如权利要求1所述的光学镜头，其特征在于：所述第一透镜的材料为Nd1∶Vd1为1.5/70，所述第二透镜的材料为Nd3∶Vd3为1.6/41，所述第三透镜的材料为Nd5∶Vd5为1.6/41，所述第四透镜的材料为Nd7∶Vd7为1.6/41，其公差范围为5％。

6.如权利要求1所述的光学镜头，其特征在于：所述第一透镜与第二透镜在光轴上的间隔为5mm，其公差范围为5％。

7.如权利要求1所述的光学镜头，其特征在于：第二透镜与第三透镜在光轴上的间隔为d4＝0.5mm，其公差范围为5％。

8.如权利要求1所述的光学镜头，其特征在于：第二透镜与第三透镜在光轴上的间隔为d6＝0.5mm，其公差范围为5％。