[发明专利]薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，包括电极板组件、信号馈入组件，其特征在于还包括由带屏蔽罩的电极板组件和信号馈入组件构成的电极板阵列，该电极板阵列至少一组阴极板和一块阳极板，至少一对信号馈入组件，其端面面接触连接电极板组件的馈入口，馈入射频/甚高频功率电源信号至电极板组件的每块阴极板背面的中心区域下凹面内的馈入口。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所说的一组阴极板和一块阳极板，是说两块阴极板对称放置，其有效工作面分别朝向对应的一块阳极板双面放电。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所说的信号馈入组件包括由铜质馈入芯带和外表屏蔽层构成Z字形条状的信号馈入带，其信号馈入带的一个端面呈矩形。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所说的电极板组件包括单面放电的阴极板、陶瓷绝缘层、屏蔽罩，所说的屏蔽罩覆盖整个阴极板背面和侧面。

5.根据权利要求1或2所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所说的电极板组件由阴极板屏蔽罩的阴极板背面及其上的馈入口与接地的阳极板构成具有一定间距的射频/甚高频信号的放电体。

6.根据权利要求1或5所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所说的阴极板屏蔽罩，还包括射频/甚高频功率电源信号馈入至阴极板背面的中心位置及四周侧面的屏蔽。

7.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所说的信号馈入组件的其中另一端接包括射频/甚高频功率电源信号在内的阴极输出口和功率电源匹配器。

8.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列，其特征在于所说电极板阵列可以是由多套信号馈入组件配套于带屏蔽罩的阴极板与少于阴极板一半的接地阳极板，构成具有一定放电间距的电极板阵列。

9.一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列的信号馈入方法，由电极板组件、信号馈入组件构成的面馈入电极板放电模式，其特征在于带屏蔽罩的电极板阵列放电，由至少一组阴极板和一块阳极板，至少一对信号馈入组件，以面接触连接电极板组件的馈入口，该馈入口位于具有屏蔽罩的阴极板背面的中心区域下凹面的矩形内，馈入射频/甚高频功率电源信号屏蔽放电。

10.根据权利要求8所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列的信号馈入方法，其特征在于所说电极板阵列由多套信号馈入组件与对应的电极板阵列以面馈入方式将射频/甚高频功率电源信号馈入至馈入口，形成具有一定放电间距的电极板阵列。

11.根据权利要求9所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列的信号馈入方法，特征在于所说信号馈入组件的一头端面呈矩形，以面馈入方式将射频/甚高频功率电源信号馈入至每块阴极板背面中心区域下凹面内的矩形馈入口。

12.根据权利要求9所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列的信号馈入方法，特征在于所说的信号馈入组件是一个呈Z字形的金属带，外壳屏蔽绝缘，其内有陶瓷绝缘层和金属馈入芯，该馈入芯是一甚高频馈线。

13.根据权利要求11所述的一种薄膜太阳能电池沉积用放电电极板阵列的信号馈入方法，特征在于所说的信号馈入带的另一端接包括射频/甚高频功率电源信号在内的阴极输出口和功率电源匹配器。