[发明专利]薄膜太阳能电池沉积夹具

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池沉积夹具，包括电极板组件、信号馈入组件及支撑框架，其特征在于带屏蔽罩的电极板组件安装在支撑框架内形成放电的夹具阵列，信号馈入组件的一端面接触连接电极板组件的馈入口，馈入射频/甚高频功率电源信号，该馈入口设置在带屏蔽罩电极板组件的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，所说的信号馈入组件是阶梯形条状的信号馈入带，它还包括腰部和信号馈入面是矩形的头部。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具，其特征在于所说的信号馈入组件是一个腰部带外壳屏蔽绝缘的信号馈入带，其一端头部是矩形的馈入面。

3.根据权利要求1或2所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具，其特征在于所说的信号馈入带是射频铜质导带，其腰部外壳是带陶瓷绝缘层的屏蔽层。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具，其特征在于所说的馈入口，位于完全屏蔽的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，在阴极板与屏蔽罩之间空置一定间隙或填充平板绝缘材料。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具，其特征在于所说带屏蔽罩电极板组件的屏蔽罩覆盖整个阴极板背面和侧面，电极板组件的阴极板与屏蔽罩之间空置一定间隙或填充平板绝缘材料。

6.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具，特征在于所说的阴极板，在其屏蔽罩上对应位于阴极板的馈入口开有通孔，避免信号馈入组件穿过该通孔接触到阴极板屏蔽罩。

7.根据权利要求6所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具，特征在于所说屏蔽罩的外层为金属壳与阴极板背面之间的绝缘层是陶瓷绝缘层。

8.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具，特征在于所说的阳极板还包括接地体，导槽及基片装卸构件。

9.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具，特征在于所说的支撑框架包括上固定板、下固定板、侧框架。

10.一种薄膜太阳能电池沉积夹具的功率电源信号馈入方法，所说夹具包括电极板组件、信号馈入组件及支撑框架构成，其特征在于带屏蔽罩的电极板组件安装在支撑框架内形成放电的电极板组件阵列，信号馈入组件包括阶梯形条状的信号馈入带，其一端以面接触连接馈入口，馈入射频/甚高频功率电源信号至电极板组件带屏蔽罩的阴极板背面的中心区域内凹的矩形面馈入口，在支撑框架内放电，形成具有一定放电空间的电极板组件阵列。

11.根据权利要求10所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具的功率信号馈入方法，其特征在于所说的夹具阵列包括电极板阵列。

12.根据权利要求10所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具的功率信号馈入方法，其特征在于所说信号馈入组件是一个腰部带外壳屏蔽绝缘的，腰部和头部构成弯曲形条状馈入带，其头部信号馈入端面是矩形。

13.根据权利要求10或11所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具的功率信号馈入方法，其特征在于所说的信号馈入组件的面馈入的矩形头所对应的电极板组件的馈入口是内凹的矩形面。

14.根据权利要求10所述的一种薄膜太阳能电池沉积夹具的功率信号馈入方法，其特征在于所说的阴极板的屏蔽罩，在其上开有通孔，当信号馈入组件穿过其通孔时，避免与阴极屏蔽罩接触。