[发明专利]一种真空泵结构

说明书

技术领域

本发明涉及真空设备领域，具体说是一种真空泵结构。

背景技术

罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵，其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来，其工作原理也与罗茨鼓风机相似，多数由两个“8”字型转子垂直安装在泵腔内，同步反向旋转，并在转子间、转子与泵壳间保持有一定间隙，达到间隙密封的目的，由于转子不断旋转。被抽气体从进气口吸入到转子与泵腔之间，再经排气口排出。

罗茨真空泵的传动方式大致分为两种，一是电动机与齿轮放在转子同侧，从动转子由电动机端齿轮直接带动，这样主动转子轴的扭转变形小，转子间间隙不会因主动轴扭转变形大而改变，但缺点是主动轴上排列三个轴承，增加泵的装配和加工难度，齿轮拆卸也不方便。另一种传动方式是电动机和齿轮在转子两侧，这种形式泵的整体结构匀称，拆卸方便，被广泛采用，但主动轴扭矩大，对主轴的刚度有要求。罗茨真空泵的润滑部位主要有三处：主轴动密封的轴封处，一般用油杯润滑；齿轮和轴承处，用齿轮或甩油盘溅油来保证润滑，而普通的轴封处动密封采用骨架密封、迷宫密封或活塞胀圈密封等，不能使轴封处避免齿轮侧的润滑油向真空腔体内扩散。

本发明涉及的真空泵结构为罗茨真空泵结构，采用电动机和齿轮在同侧的结构，使泵具有主动转子轴的扭转小转子间间隙不会因主动轴扭转变形大而改变的特点，并且在真空腔内采用悬臂轴结构，减少轴承支撑，提高轴的刚度，避免了泵的拆卸不变和加工难度大问题。并且利用轴封组件结构，在密封内套、外套的两端安放密封片，特氟龙材料无需润滑，动密封效果好，避免了电机腔体内润滑油进入真空泵腔内，污染真空环境。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种一种真空泵结构，具体方案如下：

一种真空泵结构，包括真空腔体1，齿轮箱2、电机腔体3、屏蔽电机4、轴封组件10、电机主轴5、从动轴6、罗茨转子11，所述齿轮箱2设置在真空腔体1和电机腔体3之间；屏蔽电机4固定在电机腔体3中，电机主轴5和从动轴6的外伸端处于真空腔体1内；罗茨转子11依靠胀套组件固定在电机主轴5和从动轴6的外伸端；轴封组件10安装在齿轮箱2的中心，套在电机主轴5和从动轴6上，阻断真空腔体1与电机腔体3；

本发明中，真空泵电机主轴和从动轴在真空腔体内部分为悬臂结构，无轴承支撑，具体结构为：所述电机主轴5通过屏蔽电机4中心，由支撑轴承A7和支撑轴承B9支撑，从动轴6也由支撑轴承A7和支撑轴承B9支撑，所述支撑轴承A7在电机腔体3内，支撑轴承B9在齿轮箱2内；

为使真空泵排气口附近的气体部分吸入齿轮箱顶部，并由齿轮箱顶部的两气孔12送入轴封组件中，所述齿轮箱内有气体通道13并与设置在齿轮箱顶部的两气孔12连通；

所述轴封组件10包括两端的密封片14，中间的密封内套15和密封外套16；

所述轴封组件中密封片的材料为特氟龙；

电机主轴与从动轴间的传动装置为齿轮，传动比为1∶1。

本发明具有如下优点：

1.本发明中的电机为屏蔽电机，安置于电机腔体内，将旋转主轴与屏蔽电机的动密封转化为泵内部的静密封，避免了动密封引起的泄露。2.真空泵轴的支撑轴承均在电机腔体侧，真空腔体内轴的伸出部分为悬臂结构，减少了加工、装配难度，减少了轴承在工作过程中受泵内传输介质污染而损坏几率。3.齿轮箱的气体通道可使气体直接吹入轴封内，一方面给轴封降温避免温升过快，一方面避免少量真空腔体侧粉尘进入轴封内影响密封效果。4.轴封组件中轴封片的材料选用特氟龙材料，耐磨损且密封性好。

附图说明

图1为真空泵结构图，图2为齿轮箱结构图，图3为密封组件结构图。

图1中：1、真空腔体；2、齿轮箱；3、电机腔体；4、屏蔽电机；5、电机主轴；6、从动轴；7、支撑轴承A；8、传动齿轮；9、支撑轴承B；10、轴封组件；11、罗茨转子。

图2中：12、气孔；13、气体通道。

图3中：14、密封片；15、密封内套；16、密封外套。

具体实施方式

本发明是一种真空泵结构，其结构图如图1所示。真空泵腔体由真空腔体1、齿轮箱2和电机腔体3组成。屏蔽电机4固定在电机腔体3中，电机主轴5通过屏蔽电机4中心，由设置在电机腔体内的支撑轴承A7和设置在齿轮箱内的支撑轴承B9支撑，从动轴6也由支撑轴承A7和支撑轴承B9支撑，电机主轴5和从动轴6的外伸端处于真空腔体1内。罗茨转子11依靠胀套组件固定在电机主轴5和从动轴6的外伸端。轴封组件安装在齿轮箱2的中心，套在电机主轴5和从动轴6上，阻断真空腔体1与电机腔体3。