[发明专利]具有光波导结构的发射端模块和接收端模块

权利要求书

1.一种发射端模块，应用于对至少一电信号的转换与传输上，该发射端模块包含有：

一半导体基板；

一第一膜层，形成于该半导体基板的第一表面上，用以提供电绝缘；

一电信号传输单元，形成于该第一膜层上，用以传输对应的电信号；

至少一光源单元，设置于该电信号传输单元上并和该电信号传输单元完成电连接，用以接收该电信号，并将该电信号转换成对应的一光信号后发射；

一第二膜层，形成于该半导体基板的第二表面上；以及

一第一光波导结构，形成于该第二膜层上，该第一光波导结构包含有一反射面和一光波导结构主体，该反射面是位于该第一光波导结构的第一端上，且该反射面的位置是和对应的光源单元相对应；

其中该光信号能穿透该第一膜层、该半导体基板和该第二膜层而进入该第一光波导结构的第一端，并经由该反射面的反射而进入该光波导结构主体中以进行传输。

2.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该半导体基板为一种双面抛光的单晶硅基板。

3.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该光源单元为一发光二极管、一半导体激光器或一垂直腔面发射激光器。

4.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该第一膜层、该第二膜层为一介电质膜层。

5.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该发射端模块是应用于一印刷电路板上的设置，该印刷电路板并能和该发射端模块完成电连接后，提供该电信号。

6.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该发射端模块包含有一驱动电路，该驱动电路设置于该第一膜层上或一印刷电路板上，并和该电信号传输单元完成电连接，用以传输该电信号，且该驱动电路并通过传输该电信号以驱动该光源单元。

7.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该电信号传输单元并形成于该半导体基板的第一表面上，而该发射端模块包含有一驱动电路，该驱动电路设置于该电信号传输单元上，并和该电信号传输单元完成电连接，用以传输该电信号，且该驱动电路并通过传输该电信号以驱动该光源单元，该驱动电路并可利用系统单芯片方式与对应的集成电路整合，而具有运算功能与驱动功能。

8.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该电信号传输单元为一金属材质，而该电信号传输单元的部分是靠附于该光源单元下方，用以提供该光源单元发射该光信号时的散热功能。

9.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该第一光波导结构为一硅材质，而该反射面和该第二膜层间有一45度的夹角。

10.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该光信号经该反射面的反射后，是以全反射方式于该光波导结构主体中进行传输。

11.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该第一光波导结构和该半导体基板为一体成型，而该反射面能以一半导体蚀刻方式完成。

12.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该第一光波导结构的第二端是和一光纤完成连接，用以将该光信号传输至该光纤中。

13.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该第一光波导结构的第二端是和一印刷电路板的一第二光波导结构完成连接，用以将该光信号传输至该第二光波导结构中。

14.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该第一光波导结构的第二端上形成有一第三膜层，该第三膜层为单层膜或多层膜，用以提供抗反射和增加穿透率并提升对波长、入射角度或低极化选择性的公差容忍度。

15.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该第一膜层、该第二膜层为单层膜或多层膜，用以提供抗反射和增加穿透率并提升对波长、入射角度或低极化选择性的公差容忍度。

16.如权利要求1所述的发射端模块，其特征在于，该发射端模块包含有：

一第二光波导结构，形成于该第二膜层上；以及

一光检测单元，设置于该电信号传输单元上并和该电信号传输单元完成电连接；

其中该第二光波导结构包含有对应的光波导结构主体和对应的反射面，用以传输对应的另一光信号，而该光检测单元是和该第二光波导结构的反射面的位置相对应，用以接收对应的光信号并转换成对应的另一电信号。