[发明专利]移动碲溶剂熔区法生长碲锌镉晶体的方法及装置

权利要求书

1.移动碲溶剂熔区法生长碲锌镉晶体的方法，其特征在于具有以下的工艺过程和步骤：

a.按照化学计量配比将满足Cd_1-xZn_xTe的纯度为99.99999％的高纯Cd、Zn、Te原料装入平底合料高纯石英管内，其中x＝0.04～0.8，抽真空至2.5×10^-4Pa后封结石英管，并在摇摆炉中合料，得到多晶棒；

b.按照化学计量配比将满足Cd_1-xZn_xTe的纯度为99.99999％的高纯Cd、Zn、Te原料装入另一高纯石英管内，其中x＝0.04～0.8，加入原料质量百分数为30％～80％的过量Te，抽真空至2.5×10^-4Pa后封结石英管，并在摇摆炉中合料，抽真空至2.5×10^-4Pa后封结石英管，得到Te合金；

c.在长晶管中按照籽晶、富Te合金、多晶棒的顺序依次装料并抽真空至2.5×10^-4Pa后封结石英管，其中籽晶的成分与多晶棒的成分相同；

d.将长晶管放入晶体生长炉中，高频电磁感应加热器温度设置为700～950℃，电阻加热器温度设置为400～600℃，调整炉体使高频电磁感应加热器处于长晶管中富Te合金区域并使富Te合金完全熔融成为饱和溶液；保温20～50小时后以0.02～2mm/h的速度上升炉体，同时通过支撑杆使长晶管匀速旋转；直至高频电磁感应加热器走过整个石英管。

2.移动碲溶剂熔区法生长碲锌镉晶体的装置，该装置由炉体(1)、长晶管(2)、可旋转支撑杆(3)所组成，其特征在于：炉体(1)由两端的电阻加热器(4)和中间的高频电磁感应加热器(5)组成，长晶管(2)放置于支撑杆(3)上，并完全位于炉体(1)内；富Te合金区位于高频电磁感应加热器(5)处；生长开始时，炉体(2)以一定的速度上升，同时支撑杆(3)以一定的速度匀速旋转。