[发明专利]光照射装置

说明书

技术领域

本发明涉及光照射装置，尤其涉及形成具备多个LED的线状或面状的光源的光照射装置。

背景技术

作为具备LED的光照射装置，例如在专利文献1中记载有将多个LED排列配置于基板上的紫外线照射装置。该装置是在相当于液晶面板基板的最大尺寸的大面积基板的整个面铺满配置LED元件，仅点亮预定的密封剂的硬化所必需的LED而进行照射的装置。

另外，在专利文献2中与上述同样地，记载有在同一基板上配置发光二极管，相对于其正下方的基板等的工件进行照射光的曝光装置。

图16是LED排列配列于基板上所成的光照射装置的概念图，图16(a)是从正面所看到的光源部分的说明图，图16(b)是从横方向所看到的说明图。在该光照射装置中，光源100通过多个发光二极管(以下，称为LED)101所构成，在光源平台102上铺满LED 101地配置。

在该装置上，具备相对于LED 101的各个切换ON/OFF的电源装置(未图示)，符合工件103的形状，选择、指定点灯区域，利用电源装置向LED 101供给电力。

例如，在专利文献1所述的技术中，工件103是液晶面板基板。此时，在两枚基板之间密封剂沿着预定的画框形成为矩形状，在该画框内填充有液晶。为了进行被夹在基板的密封剂的硬化，仅向矩形形状的点灯区域所对应的LED 101供给电力进行点灯。

然而，如上述地，在基板上排列配置LED 101的光照射装置中，起因于各个LED 101间的照度的参差不齐，或是LED 101间的劣化特性的参差不齐，在照射区域中，无法实现均匀的光照射。

以此种条件，如图16所示的装置，在将多个LED 101排列配置于面上的装置中，例如，每一个LED 101，在光量或稍微在放射光的光谱(波长)上产生参差不齐。所以，在照射区域中很难得到均匀的照度或光谱，有时无法进行所期望的光照射。

另外，在此种装置中，在有些LED 101为不点灯时，也有很难仅以剩余的LED 101补充所预定的照度的问题。

具体而言，在一个LED 101为不点灯时，即使提高其周围的LED 101的输入，其输入的影响也会及于无异常的LED区域，即使在成为不点灯的LED部分会得到预定的照度，而邻接于其的部分，也会成为高的照度分布，结果，损害整体的照度均匀度。

为了解决此种问题，如图17(a)所示，考虑使用了积分透镜(integratorlens)的分段光源。

在图17(a)中，在基板21上设置多个LED 23，而通过透光性树脂22与透光性透镜27密封各LED 23。来自各LED 23的射出光通过透光性透镜27，作为朝向纸面下侧的大致平行光，使得此平行光被入射于两枚积分透镜28(281、282)，从射出面2821被射出。在积分透镜28上具备大致球面状的晶胞透镜(cell lens)，被入射于各分段光源的平行光从积分透镜的射出面2821被射出，由聚光透镜291被聚光，而被重叠在工件5的照射面上。通过此，在照射面上，形成如图17(b)所示的照射分布，而在分段光源的下方区域可得到均匀的照度分布。

另外，即使多个LED 23中有一个成为不点灯时，通过使设于分段光源2内的可点灯的LED的输出上升，从而在照射面保持其照度均匀性，并且，可作成预定的照度。

在专利文献1的光照射装置中，通过具备相对于LED的各个切换ON/OFF的电源装置，从而可符合工件的形状选择、指定点灯区域。

因此，考虑通过使多个图17的分段光源邻接，构成光照射装置，符合工件的形状而可点灯或不点灯分段光源。

专利文献1：日本特开2006-235617公报

专利文献2：日本特开2002-303988公报

在专利文献1的光照射装置中，通过具备相对于LED的各个切换ON/OFF的电源装置，从而可符合工件的形状选择、指定点灯区域。

同样地，在上述图17的分段光源中，也考虑通过使它们多个邻接，来构成光照射装置，可符合工件的形状点灯或不点灯分段光源。

但是，若使图17所示的分段光源邻接，可知会产生如下的问题。

即，若使分段光源邻接，则如图18所示，在照射面上来自各分段光源的照射光在其分界成为重叠。这样的话，如图18(b)所示，在照射光的重叠部分，其光量被累计，成为仅该部分突出的照度分布。

这样，即使以图17的分段光源确保照度均匀性，若构成光照射装置，也有其照度均匀性在分段光源间丧失的问题。

发明内容