[发明专利]一种大尺寸菲林母版设计及其组合方法有效
申请号: | 201010203936.6 | 申请日: | 2010-06-21 |
公开(公告)号: | CN101846878A | 公开(公告)日: | 2010-09-29 |
发明(设计)人: | 薄红志;王勇;刘敏敏;陈富贵;王鹏年 | 申请(专利权)人: | 四川虹欧显示器件有限公司 |
主分类号: | G03F1/14 | 分类号: | G03F1/14 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐宏;吴彦峰 |
地址: | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 母版 设计 及其 组合 方法 | ||
1.一种大尺寸菲林母版设计,包含曝光用间隙窗口和对位标记,其特征在于,还包含根据所述大尺寸菲林母版裁剪而成的小尺寸菲林母版和分别在各个所述小尺寸菲林母版上用以对位组合所述小尺寸菲林母版的互补标记。
2.如权利要求1所述的大尺寸菲林母版设计,其特征在于,所述大尺寸菲林母版由多个面取组成,其中各面取之间设计有透光分界线。
3.如权利要求1所述的大尺寸菲林母版设计,其特征在于,所述互补标记包含互补的黑十字标记和白十字标记。
4.如权利要求2所述的大尺寸菲林母版设计,其特征在于,所述黑十字标记包含由遮挡紫外线的黑色乳剂覆盖的十字标记,且所述白十字标记包含透光的十字标记。
5.如权利要求2所述的大尺寸菲林母版设计,其特征在于,所述互补标记的尺寸是总长为10mm,相关十字的条宽为1mm。
6.如权利要求1所述的组合菲林母版设计,其特征在于,所述大尺寸母版的尺寸误差要求是300~500μm。
7.一种组合权利要求1所述大尺寸菲林母版的方法,其特征在于:
(1)裁剪组合大尺寸菲林母版所需的小尺寸菲林母版;
(2)在背光灯照明下,对位所述小尺寸菲林母版上的互补标记直至其组合良好;
(3)在完成所述互补标记对位后用透光胶带将对位处固定;
(4)将组合而成的大尺寸菲林母版翻面,在所述小尺寸菲林母版的组合处沿着各面取的宽或长用透光胶带固定;
(5)将组合而成的所述大尺寸菲林母版再次翻面,去掉步骤(3)中所用的透光胶带,再在所述小尺寸菲林母版的组合处沿着各面取的宽或长用透光胶带固定;
(6)使用图形测量机测定组合而成的所述大尺寸菲林母版的图形尺寸;
(7)在背光灯照明下,使用黑色油性笔涂抹、修复所述大尺寸菲林母版的乳剂面上的大缺陷;
(8)取用遮挡紫外线膜,将其裁剪成尺寸比所述菲林母版单面取图形尺寸的长、宽各小5~10mm,裁剪数量与所述大尺寸菲林母版面取数相同;
(9)除去所述大尺寸菲林母版和各所述遮挡紫外线膜上的异物及静电;
(10)将各所述遮挡紫外线膜以乳剂面平铺在所述大尺寸菲林母版各个面取的非乳剂面上,并使各所述遮挡紫外线膜位于单面取图形的中央,用除静电毛刷将所述遮挡紫外线膜扫平贴紧,接着用透光胶带沿所述遮挡紫外线膜各边缘依次无气泡粘贴牢固;以及
(11)在背光灯照明下,使用所述黑色油性笔涂抹、修复所述大尺寸菲林母版上所述遮挡紫外线膜覆盖区域之外的区域的缺陷。
8.如权利要求5所述的组合方法,其特征在于,步骤(6)中如果测量得出的尺寸超过工艺误差要求,则去掉所述透光胶带,重新组合直至满足工艺要求。
9.如权利要求5所述的组合方法,其特征在于,步骤(11)中在使用所述黑色油性笔涂抹、修复所述区域的缺陷时,只涂抹、修复先前由黑色乳剂覆盖的区域的缺陷。
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G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
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