[发明专利]石英舟自动上下片装置

权利要求书

1.一种石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，所述装置包括承载盒运输台、石英舟上下片台、吸片机构、中央控制单元，其中：

承载盒运输台固定在操作台面上，其具有输送硅片承载盒的传送带，在传送带中部的一侧分别设置有取料定位汽缸，所述取料定位汽缸用于在承载盒被输送到承载盒运输台中部的取料位置时将承载盒固定在该取料位置上以便吸片机构能够吸取硅片；

石英舟上下片台紧邻承载盒运输台固定，其包括导轨和设置在该导轨上的用于安置石英舟的滑车，所述滑车由滑车电机驱动，能够沿所述导轨前后移动并能精确定位在石英舟上下片台的装框位置处，连接所述装框位置与所述取料位置的直线垂直于所述传送带的传送方向；

吸片机构设置在承载盒运输台与石英舟上下片台上方，其包括固定在操作台面上的固定框架、吸盘支架以及安装在所述吸盘支架上用于吸取硅片的集成吸盘；所述吸盘支架通过升降电机能够上下移动，从而将安装于其上的集成吸盘移至能够从承载盒中吸取硅片或者能够将吸附的硅片放置在石英舟中的高度上；所述集成吸盘能够通过与其相连接的平移电机而进行水平移动，从而能够使集成吸盘在承载盒运输台与石英舟上下片台之间横向移动；

中央控制单元包括触摸屏、PLC控制器，其中PLC控制器构造为控制所述传送带、升降电机、平移电机、滑车移动电机的运行。

2.根据权利要求1所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，所述传送带两侧设置有护栏以阻止承载盒在传送带上横向滑移。

3.根据权利要求1所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，承载盒运输台的传送带包括输入段、取料段、输出段，其中输入与输出段分别由电机驱动，取料段始终保持静止。

4.根据权利要求1所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，承载盒运输台的传送带包括输入段、取料段、输出段，其中输入与输出段分别由电机驱动，取料段构造为固定平台。

5.根据权利要求1至4之一所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，承载盒运输台的取料定位汽缸由止挡汽缸、导向汽缸以及固定汽缸组成，其中止挡汽缸用于使承载盒停止在取料位置上，导向汽缸用于从承载盒后侧向前推动承载盒，而固定汽缸则用于将承载盒静止地固定在传送带的取料位置上。

6.根据权利要求1至4之一所述的石英舟自动上、下片的装置，所述承载盒运输台具有候取定位汽缸，在同一传送带同时输送多个承载盒且前一承载盒已被所述取料定位汽缸固定在所述取料位置时，所述侯取定位汽缸用于将后一承载盒保持在与所述取料位置相邻的侯取位置上。

7.根据权利要求1至4之一所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，所述滑车电机设置在石英舟上下片台端部，所述滑车通过丝杆、链条或者皮带与该滑车电机相连，从而能够沿导轨前后移动并精确制动。

8.根据权利要求1至4之一所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，所述滑车的上面设置有阻止石英舟沿横向于滑车移动的方向滑移的定位块、衬垫在石英舟与滑车之间的导向块以及设置在所述滑车一端的石英舟定位汽缸，所述导向块与石英舟定位汽缸互相配合能够将石英舟精确定位并防止石英舟沿滑车移动方向滑移。

9.根据权利要求1至4之一所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，所述滑车中部设置有纵向的矩形孔，该孔中设置有用于接纳硅片的齿形卡槽，所述齿形卡槽通过丝杆与所述滑车下部的升降电机相连，通过操作所述升降电机能够使所述齿形卡槽上升或下降，从而托起或降下硅片。

10.根据权利要求1至4之一所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，在石英舟上下片台的装框位置的两侧分别设置有装框导向汽缸，其上分别活动连接有装框导向板，所述装框导向板具有数量与集成吸盘的真空吸片一致的分隔板，通过操作所述装框导向汽缸能够对所述装框导向板的位置加以微调并定位，从而使其能够将吸附在集成吸盘上的硅片置于其分隔片形成的隔槽中。

11.根据权利要求1至4之一所述的石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，所述滑车上设置有用于探测滑车上是否装载有石英舟的传感器，该传感器安装在所述滑车一端的传感器支架上，并能够将信号发送给所述中央控制器。