[发明专利]用于硅基器件的凸微观部件有效
| 申请号： | 201010206225.4 | 申请日： | 2001-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN101867858A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·佩德森;彼得·V·勒佩特;李承复 | 申请（专利权）人： | 诺利斯电子公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙纪泉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 器件 微观 部件 | ||
1.一种用于硅基器件的凸微观部件(110)，凸微观部件(110)包括：
通常呈平面的薄膜(112)；
支持薄膜(112)的侧壁(114)；
所述凸微观部件(110)上的侧壁(114)在其基底(118)处连接到硅基片(116)上；
其中侧壁(114)呈肋状并且形成多个脊和凹槽。
2.如权利要求1所述的凸微观部件，其特征在于，所述的侧壁的横截面在所述基片表面的平面上为波纹状。
3.如权利要求1所述的凸微观部件，其特征在于，肋状物具有通常呈弧形的截面。
4.如权利要求1所述的凸微观部件，其特征在于，肋状物具有通常呈三角形的截面。
5.如权利要求1所述的凸微观部件，其特征在于，肋状物具有通常呈长方形的截面。
6.如权利要求1所述的凸微观部件，其特征在于，侧壁包括多个肋条。
7.如权利要求6所述的凸微观部件，其特征在于，所述肋条环绕侧壁间隔相等的距离。
8.如权利要求1所述的凸微观部件，其特征在于：
所述平面薄膜具有第一厚度和周边；
所述侧壁具有第二厚度；
所述侧壁在距离硅基片所述第二厚度的所述周边之上支持所述平面薄膜；
其中侧壁呈肋状并且形成多个脊和凹槽。
9.如权利要求8所述的凸微观部件，其特征在于，所述第一厚度与所述平面薄膜的横向长度相比要小。
10.如权利要求8所述的凸微观部件，其特征在于，所述第二厚度与其所述第一厚度近似相等。
11.如权利要求8所述的凸微观部件，其特征在于，所述周边与所述基片之间的距离与所述第二厚度相比要大。
12.如权利要求8所述的凸微观部件，其特征在于，肋状物紧随周边的周期性路径相对于所述平面薄膜的中心向内或者向外。
13.如权利要求12所述的凸微观部件，其特征在于，所述路径呈弧形。
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