[发明专利]一种制备GaN纳米线的方法无效
申请号: | 201010206636.3 | 申请日: | 2010-06-23 |
公开(公告)号: | CN101863458A | 公开(公告)日: | 2010-10-20 |
发明(设计)人: | 李恩玲;戴元滨;朱红;侯利平;王喜强 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学 |
主分类号: | C01B21/06 | 分类号: | C01B21/06;B82B3/00 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710048*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 gan 纳米 方法 | ||
1.一种制备GaN纳米线的方法,其特征在于,具体按照以下步骤实施:
步骤1:制备镓源凝胶前驱体粉末
将质量浓度为68%的分析纯硝酸与质量浓度为37%的分析纯盐酸按照体积比为1:1混合得到混合酸溶液,按照质量比为5:78称取金属镓及混合酸溶液,将金属镓加入到混合酸溶液中,反应直至金属镓完全溶解,得到溶解了镓的酸溶液,向溶解了镓的酸溶液中缓慢添加浓氨水,将PH值调节为7.2~8;然后缓慢向溶解了镓的酸溶液中添加柠檬酸,直至溶液中形成溶胶;然后持续加热1~3小时,冷却后得到褐色凝胶;将褐色凝胶在380~420℃条件下煅烧1~3小时,得到灰黑色多层状产物,将灰黑色多层状产物进行研磨,得到镓源凝胶前驱体粉末;
步骤2:制备GaN纳米线
将衬底清洗后放入质量浓度为2%~8%的Ni(NO3)2酒精溶液中,浸泡8~18小时,在温度为90~110℃条件下烘干,将步骤1得到的前躯体粉末和烘干后的衬底放入石英舟内,将石英舟置于电阻炉的恒温区,向电阻炉内通入流量为500ml/min的氮气,然后按照升温制度进行加热,即完成在衬底上制备GaN纳米线。
2.根据权利要求1所述的制备GaN纳米线的方法,其特征在于,所述步骤2中的升温制度,具体按照以下步骤实施:首先,将电阻炉的温度设置为310℃,保温30min,然后以10℃/min的升温速率升温,当电阻炉温度达到1000~1100℃后,向炉腔内通入流量为500ml/min的氨气,反应60~100min,再通入流量为500ml/min的氮气,自然冷却至750℃,保温30min,再自然冷却至室温。
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