[发明专利]f-theta光学镜头

权利要求书

1.一种f-theta光学镜头，其特征在于：其包括沿入射光线传输方向设置的第一透镜，第二透镜，以及第三透镜，其中所述的第一透镜为双凹型透镜，第二透镜为弯月型透镜，且曲面均向着光线入射方向弯曲，第三透镜为双凸型透镜，该镜头的焦距为160mm，入瞳直径为12mm，入射光波长为355nm，视场角为ω，其中2ω＝50°，加工面积为100*100mm²。

2.根据权利要求1所述的f-theta光学镜头，其特征在于：所述的第一透镜包括曲率半径分别为R1、R2的两个曲面S1、S2，其光轴上的中心厚度d1，其材料为Nd1(折射率):Vd1(阿贝数)，所述的R1为-35mm，R2为340mm，Nd1:Vd1为1.5/70，d1为3mm。

3.根据权利要求2所述的f-theta光学镜头，其特征在于：所述的第二透镜包括曲率半径分别为R3、R4的两个曲面S3、S4，其光轴上的中心厚度d3，其材料为Nd3(折射率):Vd3(阿贝数)，所述的R3为-120mm，R4为-55mm，Nd3:Vd3为1.6/41，d3为6mm。

4.根据权利要求3所述的f-theta光学镜头，其特征在于：所述的第三透镜包括曲率半径分别为R5、R6的两个曲面S5、S6，其光轴上的中心厚度d5，其材料为Nd5(折射率):Vd5(阿贝数)，所述的R5为350mm，R6为-60mm，Nd5:Vd5为1.6/41，d5为12mm。

5.根据权利要求4所述的f-theta光学镜头，其特征在于：第一透镜与第二透镜在光轴上的间距为d2，第二透镜与第三透镜在光轴上的间距为d4，所述的d2为4mm，d4为0.1mm。

6.根据权利要求1所述的f-theta光学镜头，其特征在于：所述的第三透镜与成像面之间进一步设置保护镜，该保护镜为双平板透镜，其包括平面S7，S8，该保护镜光轴上的中心厚度为3mm，所述的平面S7的材料为Nd7(折射率):Vd7(阿贝数)，Nd7:Vd7为1.5/70。

7.根据权利要求6所述的f-theta光学镜头，其特征在于：所述的第三透镜与保护镜在光轴上的间距为2mm。

8.根据权利要求5所述的f-theta光学镜头，其特征在于：所述的曲面曲率半径，曲面间隔以及材料参数的修正范围为±5％。