[发明专利]多晶硅槽式制绒冷却装置无效
申请号: | 201010209471.5 | 申请日: | 2010-06-18 |
公开(公告)号: | CN101967682A | 公开(公告)日: | 2011-02-09 |
发明(设计)人: | 郝子龙 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 硅槽式制绒 冷却 装置 | ||
技术领域:
本发明专利涉及一种电池片生产用装置,尤其涉及多晶硅槽式制绒冷却装置。
背景技术:
随着太阳能光伏产业技术的不断提升,对于太阳能产品的质量以及成本提出了新的要求。多晶硅电池片的生产由于其原材料的低成本,在未来的光伏电池生产中具有非常大的低成本优势,其全新的工艺制程的成本消耗也相比单晶硅电池的生产成本要低。
由于多晶硅晶粒具有无方向性,所以就决定了其在清洗制绒这一工序不能沿用单晶硅的生产工艺,而是要用各向同性腐蚀液来对硅片进行腐蚀制绒,目前,通常采用HNO3和HF的混合溶液来进行多晶制绒,在腐蚀制绒过程中会释放出巨大的热量,使得反应溶液温度在短时间内就超出了正常的工艺温度,这种状况是腐蚀制绒工艺必须严格控制的,否则会直接影响制绒效果,严重时会导致制绒生产无法正常继续,这一弊端在槽式制绒过程中尤为明显。根据制绒工艺要求,反应溶液的温度差应控制在5℃以内,现有的槽式制绒工艺很难达到上述要求,主要是腐蚀制绒槽的冷却装置不能满足要求,迫切需要冷却效果能够控制的冷却装置。
发明内容:
为了克服现有多晶槽式制绒设备的不足,本发明提供了一种多晶硅槽式制绒冷却装置。采用这种冷却装置,可以根据不同的产能和制绒工艺要求,对腐蚀制绒槽中的反应溶液温度进行有效控制,确保腐蚀溶液的温差控制在5℃以内。
本发明采取的技术方案是:
本发明所述多晶硅槽式制绒冷却装置,其特征是:包括制绒槽、腐蚀液输入管、循环泵、入口温度传感器、热交换器、腐蚀液输出管、出口温度传感器、冷却液池、变量泵、回收池和电控部件,所述热交换器由冷却槽内腔、腐蚀液输入口、热液腔、热液支管、冷液腔、腐蚀液输出口、冷却液入口和冷却液出口组成,腐蚀液输入口与热液腔相通连,冷液腔与腐蚀液输出口相通连,所有热液支管都与热液腔和冷液腔相通连;冷却液入口和冷却液出口均与冷却槽内腔相通连,冷却液入口通过变量泵与冷却液池相连,冷却液出口与回收池相连;制绒槽通过磁力循环泵和高温腐蚀液输入管与腐蚀液输入口相通连,腐蚀液输出口通过冷却腐蚀液输出管通入制绒槽内,在高温腐蚀液输入管上设有入口温度传感器,在冷却腐蚀液输出管上设有出口温度传感器;磁力循环泵、入口温度传感器、出口温度传感器和变量泵均与电控部件电连接。
由于对多晶硅制绒槽进行了循环冷却处理,制绒槽中腐蚀液经循环泵抽吸通过腐蚀液输入管、热液腔进入热液支管中,冷却槽内腔中冷却液对热液支管中的腐蚀液进行热对流,使热液支管中的腐蚀液温度下降,降温后的腐蚀液从冷液腔和腐蚀液输出管流回制绒槽;由于在腐蚀液输入管上设置了入口温度传感器,在冷却腐蚀液输出管上设有出口温度传感器,电控部件根据这些信号控制变量泵,通过改变冷却液的流量来调节冷却速度,从而有效控制制绒槽中腐蚀液的温度变化,使温差值控制在预定的工艺要求范围之内。从根本上克服了现有技术中存在的缺点,比较理想地满足了多晶硅制绒工艺对腐蚀溶液的温控要求。
附图说明:
图1为本发明的结构示意图;图2为图1中热交换器的结构示意图;
图中:1-制绒槽;2-腐蚀液输入管;3-循环泵;4-入口温度传感器;5-热交换器;6-腐蚀液输出管;7-出口温度传感器;8-冷却液池;9-变量泵;10-回收池;11-电控部件;51-冷却槽内腔;52-腐蚀液输入口;53-热液腔;54-热液支管;55-冷液腔;56-腐蚀液输出口;57-冷却液入口;58-冷却液出口。
具体实施方式:
下面结构附图详细说明本发明的具体实施方式:
所述多晶硅槽式制绒冷却装置如图1、图2所示,它包括制绒槽1、腐蚀液输入管2、循环泵3、入口温度传感器4、热交换器5、腐蚀液输出管6、出口温度传感器7、冷却液池8、变量泵9、回收池10和电控部件11,所述热交换器5由冷却槽内腔51、腐蚀液输入口52、热液腔53、热液支管54、冷液腔55、腐蚀液输出口56、冷却液入口57和冷却液出口58,腐蚀液输入口52与热液腔53相通连,冷液腔55与腐蚀液输出口56相通连,所有热液支管54都与热液腔53和冷液腔55相通连;冷却液入口57和冷却液出口58均与冷却槽内腔51相通连,冷却液入口57通过变量泵9与冷却液池8相连,冷却液出口58与回收池10相连;制绒槽1通过磁力循环泵3和高温腐蚀液输入管2与腐蚀液输入口52相通连,腐蚀液输出口56通过冷却腐蚀液输出管6通入制绒槽1内,在高温腐蚀液输入管2上设有入口温度传感器4,在冷却腐蚀液输出管6上设有出口温度传感器7;磁力循环泵3、入口温度传感器4、出口温度传感器7和变量泵9均与电控部件11电连接。
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