[发明专利]铝氧化铝双层膜电热微驱动器

权利要求书

1.一种铝氧化铝双层膜电热微驱动器，包括：基底、下置空腔、基座、电极、下置电阻丝、铝翘曲功能层和氧化铝牵制层，其特征在于：铝翘曲功能层的末端与基座相连，另一端悬空，氧化铝牵制层位于铝翘曲功能层上方且两者紧密结合形成双层膜结构，基座固定设置于基底上，电极与下置电阻丝相连，下置电阻丝位于下置空腔上方并与基底悬空，所述的下置空腔为基底上刻蚀制成的矩形结构。

2.根据权利要求1所述的铝氧化铝双层膜电热微驱动器，其特征是，所述的基底是石英玻璃基底或者硅基底。

3.根据权利要求1所述的铝氧化铝双层膜电热微驱动器，其特征是，所述的下置电阻丝是等间距排布的金属镍条阵列，所述的金属镍条的长度为300-600微米，宽度为5-30微米，厚度为2-5微米，条间距为10-30微米。

4.根据权利要求1所述的铝氧化铝双层膜电热微驱动器，其特征是，所述的铝翘曲功能层是伸出悬空的悬臂梁结构，长为300-600微米，宽为200-500微米，厚度为5-10微米。

5.根据权利要求1所述的铝氧化铝双层膜电热微驱动器，其特征是，所述的氧化铝牵制层是通过对铝膜阳极氧化形成，该氧化铝牵制层的厚度为2-5微米。

6.根据权利要求1所述的铝氧化铝双层膜电热微驱动器，其特征是，所述的铝翘曲功能层为T字形结构。

7.根据权利要求1所述的铝氧化铝双层膜电热微驱动器，其特征是，所述的基座为金属块或SU8胶制成的厚膜结构，其高度为5-10微米。