[发明专利]基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计

权利要求书

1.一种基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计，包括光学谐振腔(1)、悬臂梁(2)、基底(3)、质量块(4)、输入光栅(5)、输出光栅(6)、输入光波导(7)、输出光波导(8)；所述悬臂梁的一端与基底相连，另一端与质量块连接，悬臂梁用刻蚀形成，所述光学谐振腔被刻蚀在悬臂梁的上表面，所述光学谐振腔为平面跑道形的形状；其特征在于：所述光学输入口是通过输入光栅连接输入光波导，并与谐振腔集成为一体；所述光学输出口是通过输出光栅连接输出光波导，并与谐振腔集成为一体；该光学谐振腔微加速度计由上而下有三层结构，其中：

第一层结构是所述光学谐振腔、输入光波导和输出光波导、输入光栅和输出光栅，均利用光刻法刻蚀在光学谐振腔两侧，并且利用电子束刻蚀方式以光栅作为传输光的结构；

第二层结构是所述悬臂梁，所述悬臂梁几何形状为长而薄的长方体，采用半导体材料，悬臂梁是由正面刻蚀和反面深刻蚀技术形成的；

第三层结构为基底，所述基底几何形状为长方体，采用半导体材料。

2.如权利要求1所述的基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度，其特征在于：所述光学谐振腔的输入光波导端与输出光波导端的宽度为500nm-550nm，与光学谐振腔的两侧平行的输入光波导及输出光波导的宽度550nm-600nm，即输入光波导端与输出光波导端的宽度比光学谐振腔的两侧平行的输入光波导及输出光波导的宽度要宽50nm，光学谐振腔弯曲部分的两侧外半径为5μm-6μm，内半径为4.5μm-5.5μm。

3.如权利要求1所述的基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度，其特征在于：所述输入光栅(5)或输出光栅(6)的光栅常数为620nm，输入光栅(5)或输出光栅(6)的刻蚀深度为50nm-60nm，输入光栅(5)的宽度与所连接的输入光波导(7)的宽度比大于1/3，输出光栅(6)的宽度与所连接的输出光波导(8)的宽度比也大于1/3，输入光波导(7)与输出光波导(8)都是利用级联式渐变波导宽度。

4.如权利要求1所述的基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度，其特征在于：所述悬臂梁(2)的长度为100-400μm，宽度为20-50μm，厚度为0.4-10μm。