[发明专利]一种流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法有效
申请号: | 201010210525.X | 申请日: | 2010-06-25 |
公开(公告)号: | CN102299254A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 陈文革;何超;刘明会 | 申请(专利权)人: | 西安三瑞科技有限公司 |
主分类号: | H01L41/22 | 分类号: | H01L41/22;C04B35/472;C04B35/491;C04B35/495 |
代理公司: | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人: | 佘文英 |
地址: | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 法制 尺寸 压电 复合材料 方法 | ||
1.一种流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是制备方法包括以下步骤:
(1)制粉:将市场销售的颗粒尺寸大于3μm的压电陶瓷粉在球磨机中以700转/分的转速下加酒精100毫升/公斤湿法球磨24~48h,烘干得到平均颗粒尺寸1~3μm的压电陶瓷粉;
(2)制备流延浆料:称取步骤1中的压电陶瓷粉,然后与聚合物混合后加入流延胶,转速300~500转/分下球磨12~24小时分散均匀,最后在真空度为-0.95Mpa的真空密封罐中进行真空除泡20~30分钟,制得流延浆料;
(3)流延成型:用流延机对流延浆料进行流延,控制刮刀高度在50μm~1mm,在15~35℃温度范围内自然干燥3~5小时即可从基板上剥离出坯膜;
(4)排胶烧结:烘箱中150~180℃下排胶,升温速度1~3℃/min,保温1~2小时,然后在180~200℃下烧结1~2小时;
(5)极化:在膜的上下两表面上刷导电银浆,在150℃下保温1h被银电极,硅油浴极化,极化温度为100~130℃,极化场强为5~10kV/mm,极化时间为20~90min,即成为压电复合材料。
2.如权利要求1所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述流延浆料由压电陶瓷粉与聚合物的混合物、流延胶两部分组成,其中:压电陶瓷粉与聚合物的混合物占流延浆料的重量百分比为55~70%,流延胶占流延浆料的重量百分比为45~30%。
3.如权利要求2所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述压电陶瓷粉与聚合物的混合物中,压电陶瓷粉占混合物的重量百分比为80~95%,聚合物为20~5%。
4.如权利要求1所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述流延胶由以下组分按重量百分比组成:溶剂70~85%、粘接剂20~5%、分散剂5.5~4%、增塑剂4~5%、除泡剂0.5~1%。
5.如权利要求4所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述溶剂为无水乙醇与二甲苯的混合物,混合物中无水乙醇的体积百分比为50~70%、二甲苯为50~30%。
6.如权利要求4所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述粘接剂为聚乙烯醇缩丁醛。
7.如权利要求4所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述分散剂为油酸或三油酸甘油酯。
8.如权利要求4所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述增塑剂为甘油和邻苯二甲酸二丁酯的混合物,混合物中甘油的体积百分比为65~75%、二甲苯为25~35%。
9.如权利要求4所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述除泡剂为磷酸三丁酯、有机硅油或醇类。
10.如权利要求1所述的流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是所述聚合物为市场销售的平均颗粒尺寸小于20μm的粉体。
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