[发明专利]电荷粒子分选装置以及电荷粒子照射装置无效
| 申请号： | 201010211047.4 | 申请日： | 2010-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN101937825A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 成岛正树;森晃一;山田公;丰田纪章 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;兵库县 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;B07C5/34 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷;南霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电荷 粒子 分选 装置 以及 照射 | ||
1.一种电荷粒子分选装置，用于分选离子化的气体团簇，其特征在于，包括：
电场施加部，所述电场施加部沿所述气体团簇的前进方向排列，用于施加电场；以及
狭缝，用于分选所述气体团簇，
所述电场施加部由两片电极构成，通过向所述电极施加交流电压来使离子化的气体团簇发生偏转，
其中，所述电极具有开口部或间隙。
2.如权利要求1所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，
所述电极的开口部或间隙被设置在与所述离子化的气体团簇的前进方向垂直的方向上。
3.如权利要求1或2所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，
所述电极通过沿所述离子化的气体团簇的前进方向排列多个导电棒而构成，所述导电棒沿着与所述离子化的气体团簇的前进方向垂直的方向延伸。
4.如权利要求3所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，
在将构成所述电极的导体棒的间距设为P、将所述电极之间的间隔设为D的情况下，D/P的值大于或等于1。
5.如权利要求1或2所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，
所述电极形成为网孔状。
6.如权利要求1至5中任一项所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，设置有多个所述电场施加部。
7.一种电荷粒子照射装置，其特征在于，包括：
气体团簇生成部，其生成气体团簇；
离子化电极，其将所述气体团簇离子化；
加速电极，用于加速所述离子化了的气体团簇；以及
权利要求1至6中任一项所述的电荷粒子分选装置，用于在所述加速了的离子化的气体团簇中分选出预定价数的离子化的气体团簇，
并且，所述电荷粒子照射装置向部件照射从所述电荷粒子分选装置射出的离子化的气体团簇。
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