[发明专利]大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵非线性消声方法和消声器

权利要求书

1.大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵非线性消声方法，其包括如下步骤：

1)涡流缓冲与压力平衡

对罗茨真空泵的噪声通过一个平衡腔，降低压差和流速，实现声波过程的线性化；

2)小孔喷注、升频

以气体通过小孔喷注，将上述线性化的声波中的基频能量耦合成高频分量，实现升频；

3)微孔阻尼

声波通过小孔构成的阻尼系统，一部分声波能量被转化成热，实现阻性消声；

4)基频及倍频消声

声波通过由扩张管和内插管构成基频及倍频消声单元，实现抗性消声；

5)微孔阻尼

声波通过小孔构成的阻尼系统，一部分声波能量被转化成热，实现阻性消声；

6)基频及倍频消声

声波通过由扩张管和内插管构成的基频及倍频消声单元，实现抗性消声；

7)二级稳压

声波通过第二平衡腔二次稳压，实现内外气体的压差进一步降低；

8)基频及倍频消声

声波再次通过由扩张管和内插管构成基频及倍频消声单元，实现基频及倍频的二次抗性消声。

2.如权利要求1所述的大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵非线性消声方法，其特征是，步骤6)中，声波通过由扩张管和内插管构成的1.5倍、2.5倍基频及倍频消声单元，实现抗性消声。

3.大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵的消声器，其特征是，包括，壳体，具有进口和出口，壳体内从进口到出口之间设有一个供声波和气流同时通过的通道；

从进口到出口，在通道中依次间隔设置阻性微孔消声缓冲腔、阻性微孔消声节流插管、罗茨真空泵基频及其高次谐波频段消声单元、阻性微孔消声节流插管、基频1.5倍及其高次谐波频段消声单元、基频2.5倍及其高次谐波频段消声单元、基频及其高次谐波频段消声单元；通道内侧壁设隔声阻尼填料。

4.如权利要求3所述的大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵的消声器，其特征是，所述的壳体内的通道从壳体进口到出口之间呈弯折、平行布置。

5.如权利要求3所述的大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵的消声器，其特征是，所述的壳体内的通道由隔板在壳体内隔断形成。

6.如权利要求3所述的大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵的消声器，其特征是，所述的壳体进口处设与真空泵排气口连接的连接法兰。

7.如权利要求6所述的大功率双叶逆流冷却式罗茨真空泵的消声器，其特征是，所述的法兰接触面放置弹性隔振垫。