[发明专利]一种制备作为太阳能电池吸收层的CuInSe2薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201010211713.4 申请日: 2010-06-21
公开(公告)号: CN102054899A 公开(公告)日: 2011-05-11
发明(设计)人: 陈祥洲;刘伟丰;江国顺;朱长飞 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 关畅
地址: 230026 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 作为 太阳能电池 吸收 cuinse sub 薄膜 方法
【权利要求书】:

1.一种制备CuInSe2薄膜的方法,包括如下步骤:

1)将铜盐和铟盐溶于有机溶剂中后,加入硝酸水溶液混匀,再加入乙醇胺进行反应,至反应体系的pH值为6时反应完毕,密封保温后得到前驱体溶胶;

2)将所述前驱体溶胶成膜,干燥后在氢气气氛中进行还原,所述还原反应完毕冷却至室温后再与硒粉进行硒化反应,所述硒化反应完毕冷却至室温后得到所述CuInSe2薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤1)中,所述铜盐选自硝酸铜和氯化铜中的任意一种,所述铟盐选自硝酸铟和氯化铟中的任意一种,所述有机溶剂选自乙醇和甲醇中的至少一种。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述步骤1)中,所述铜盐中的铜元素和所述铟盐中的铟元素的摩尔比为1∶1,所述铜盐和所述铟盐在所述有机溶剂中的浓度均为0.25-1mol/L,优选0.5mol/L,所述硝酸水溶液的浓度为1摩尔/升,所述硝酸水溶液与所述有机溶剂的体积比为1∶4;所述乙醇胺选自三乙醇胺和二乙醇胺中的至少一种,优选三乙醇胺。

4.根据权利要求1-3任一所述的方法,其特征在于:所述步骤1)混匀步骤中,温度为20-60℃,所述反应步骤中,温度为20-60℃;所述密封保温步骤中,温度为60-80℃,优选60℃,时间为8-12小时,优选10小时。

5.根据权利要求1-4任一所述的方法,其特征在于:所述步骤2)成膜步骤中,成膜方法为旋涂法。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:所述旋涂法中,匀胶机的转速为2000-3000转/分,优选2500转/分,旋转半径为0.5-2cm,优选1cm,时间为30-60秒,优选50秒,成膜基底为钠钙玻璃。

7.根据权利要求1-6任一所述的方法,其特征在于:所述步骤2)干燥步骤中,温度为60-80℃,优选80℃,时间为2-4小时,优选2小时。

8.根据权利要求1-7任一所述的方法,其特征在于:所述步骤2)还原步骤中,温度为400-500℃,优选500℃,由室温升至500℃的升温速率为5-10℃/分,优选10℃/分,所述还原时间为30-60分钟,优选30分钟。

9.根据权利要求1-8任一所述的方法,其特征在于:所述步骤2)硒化反应中,真空度为5-10帕,优选5帕,温度为450-550℃,优选550℃,时间为30-60分钟,优选30分钟,所述由室温升至所述硒化反应温度的速率为10-70℃/分,优选60℃/分。

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