[发明专利]膜片式流体控制阀

权利要求书

1.一种膜片式流体控制阀，所述膜片式流体控制阀具有驱动阀芯的膜片，

其特征在于，所述膜片在其外周部和内周部之间形成山形波状部，所述山形波状部俯视呈同心圆环状，在其截面上看具有[N个+(0.25～0.75)个]上凸或下凸的凸起部，其中N为正整数(1、2、3......)。

2.一种膜片式流体控制阀，所述膜片式流体控制阀具有：用于调节流体的流量或压力的阀芯；设置流入口及流出口并且在它们之间设置通过所述阀芯而进行开闭的阀口的阀体；将所述阀芯向所述阀口开闭方向进行驱动的膜片装置，

其特征在于，所述膜片装置具有：膜片；封固所述膜片的外周部并且在其上表面侧划分出压力室的膜片保持部件，

所述膜片在其外周部和内周部之间形成山形波状部，所述山形波状部俯视呈同心圆环状，在其截面上看具有[N个+(0.25～0.75)个]上凸或下凸的凸起部，其中N为正整数(1、2、3......)。

3.根据权利要求1或2所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，所述膜片式流体控制阀构成为作为被用于冷冻循环的膨胀阀而发挥功能。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，在所述膜片的山形波状部形成2个以上所述凸起部，这些凸起部的高度实质上相同。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，以所述膜片的外周部或内周部的上表面或下表面为基准面，若将所述基准面和顶点的高低差设为1，则所述基准面和所述山形波状部的内周侧端部或外周侧端部的高低差为0.25～1。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，作为所述膜片使用板厚为0.05～0.15mm的不锈钢薄钢板。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，所述膜片的山形波状部的外径为18～35mm，内径为10～22mm。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，以所述膜片的外周部或内周部的上表面或下表面为基准面，从所述基准面至顶点的高低差和从所述基准面至所述山形波状部的内周侧端部或外周侧端部的高低差均被设定在0.10～0.50mm的范围内。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，所述山形波状部的凸起部数为[N+0.5]个。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，以所述膜片的外周部的上表面或下表面为基准面，从所述基准面至顶点的高低差和从所述基准面至所述山形波状部的内周侧端部的高低差被设定得相同。

11.一种流体控制阀用膜片，其特征在于，在外周部和内周部之间形成山形波状部，所述山形波状部俯视呈同心圆环状，在其截面上看具有[N个+(0.25～0.75)个]上凸或下凸的凸起部，其中，N为正整数(1、2、3......)。