[发明专利]集成电路装片机框架输送系统有效
申请号: | 201010212151.5 | 申请日: | 2010-06-29 |
公开(公告)号: | CN102315133A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 刘建峰;徐银森;李承峰;胡汉球;苏建国;吴华 | 申请(专利权)人: | 吴华 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成电路 装片机 框架 输送 系统 | ||
技术领域
本发明涉及集成电路装片机的输送系统,尤其是指能够精确控制的集成电路引线框架的全自动输送系统。
背景技术
将集成电路的芯片吸取并装载到集成电路引线框架上,是集成电路装片机关键的操作步骤。通常集成电路装片机的输送系统包含上料机构、轨道机构、下料机构。传统的集成电路装片机中,引线框架的拿取、传输和放置很难实现全自动操作,生产效率低,装片精度低,难以适应不同尺寸的引线框架使用。专利200720131627.9的说明书中公开的一种集成电路用上料机构,虽使用了机械手,未提及上料传感器,自动控制未完整实施。专利200710019239.3的说明书中公开的集成电路引线框架上涂胶装片方法,其输送机构没有精确控制部件,所以采用了局部掩盖薄膜的方法,生产效率低下,带来污染。专利200720094963.8中公开的一种石英晶片装载机,其输送轨道尺寸没有自由调节功能和精确控制功能,不能适用于系列产品的使用和精确控制。
发明内容
发明目的:本发明提供一种上料、输送、下料均能够精确控制,适应不同尺寸的引线框架使用的集成电路装片机框架输送系统。
技术方案:本发明是这样实现的:
上料机构中含上料机械手和上料传感器;轨道机构含数个夹爪组、轨道、驱动元件和轨道传感器;下料机构含下料机械手和下料传感器;轨道机构是一种开放式结构,轨道机构的夹爪组之间的宽度或/和厚度能够自由调节,每个夹爪组之间的宽度通过该夹爪组之间的距离调节,每个夹爪组之间的厚度通过该夹爪组厚度调节缝调节,轨道的宽度或者也能够调节,以适应不同尺寸的引线框架。
所述的上料传感器、下料传感器和轨道传感器分别连接到程控设备如程控电脑中,程控设备分别控制上料机械手、下料机械手、轨道机构的驱动元件的动作,达到精确控制上料、下料、输送。
本发明中,所述的上料机械手含有真空吸盘,真空吸盘连接到外置的真空泵,真空吸附上料吸力大,取放速度快。
所述的轨道机构的驱动元件是电机带动的滚珠丝杆,最好是采用精密滚珠丝杆,以实现引线框架的精确输送,精确定位,保证涂胶和贴集成电路芯片的顺利实现。
所述的程控设备中含有程控软件,通过上料传感器、轨道传感器、下料传感器收集信号,传送预编制好的相应程序,分别自动控制上料机构(5)、轨道机构(8)、下料机构(13)的动作。
有益效果:本发明的集成电路装片机框架输送系统,能够自由调节夹爪和轨道的尺寸,以适应不同尺寸的引线框架,一机多用;上料、输送、下料进给量控制精确,自动化程度高,适合大规模集成电路装片使用。
附图说明
图1是本发明的一个立体结构示意图;
图2是本发明的一个轨道机构的夹爪组的结构示意图。
图中:1、驱动元件;2、轨道传感器;3、上料机械手;4、上料传感器;5、上料机构;6、上料合;7、轨道;8、轨道机构;9、夹爪组;10、下料合;11、引线框架;12、下料机械手;13、下料机构;14、下料传感器;15、程控设备;16、夹爪组之间的宽度;17、夹爪组之间的厚度;18、夹爪组厚度调节缝。
具体实施方式
选取合适规格和功能的上料机械手3、上料传感器4等制作为上料机构5;选取合适规格和功能的数套夹爪组9、两根轨道7、驱动元件1、轨道传感器2等制作为轨道机构8;选取合适规格和功能的下料机械手12、下料传感器14制作为下料机构13;选用安装了预先编制好程序的程控软件的程控设备15。
将各个元器件按照图1所示安装连接起来。引线框架11现在输送到下料合10中,夹爪组之间的宽度16和夹爪组之间的厚度17与引线框架11的尺寸吻合,夹爪组之间的宽度16通过夹爪组之间的距离调节,夹爪组之间的厚度17通过夹爪组厚度调节缝18调节大小。
在启动电源后,程控设备15通过上料传感器4、轨道传感器2、下料传感器14收集状态信息,然后分别控制上料机械手3、驱动元件1、下料机械手12产生动作,从上料合6中取出引线框架11,传到轨道机构8中,进行涂胶和贴片操作,最后放到下料合10中,完成一个周期的引线框架11的输送过程。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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