[发明专利]镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置。

背景技术

采用镀膜机于工件表面镀膜可提高工件表面性能。镀膜仓作为镀膜机最重要的部件，一般内设有伞架、电子枪及反应气体。该伞架的伞面设有多个通孔。多个待镀工件固定于托盘内，该托盘收容于该通孔内，并可于该通孔内翻面。该电子枪及反应气体同设于伞架下方，该电子枪发射电子束，该电子束与反应气体反应，从而于工件表面形成镀膜。但是，伞面通常呈弧形，导致伞面各处的反应气体密度及电子密度可能不一致，业界常于该伞架下方设置镀膜修正板。镀膜时，该伞架围绕自身中轴线旋转，该镀膜修正板保持静止，通过控制该镀膜修正板的宽窄来调整伞架伞面各处的气流及离子密度至一致，从而实现伞面各处工件的镀膜厚度一致。

当下，通常采用黏贴铝箔来调节镀膜修正板的宽窄。这导致该铝箔亦会被镀上镀层。由于铝箔较薄，承重能力有限，后续镀膜仓加热时铝箔上的镀层易脱离铝箔而污染镀膜仓。故，需常更换铝箔来降低污染。此举相当耗时，影响产品产出。另，对于已调整好宽度的镀膜修正板，更换铝箔时，人工黏贴难保将铝膜黏贴于镀膜修正板的确定位置，可能造成更换铝箔前后的工件镀膜厚度不一致。

因此，有必要提供一种镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置来提高镀膜均匀性。

发明内容

一种镀膜修正板，包括具有第一表面的板体，多个石英晶体微量天平、多条信号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模块。每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号。每条信号线与一石英晶体微量天平及该处理控制模块相连，用于将该振荡信号传输至该处理控制模块。该处理控制模块用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作。该驱动装置用于于该处理控制模块的控制下驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。

一种镀膜装置，包括镀膜仓、设于该镀膜仓内的伞架及前述镀膜修正板。该镀膜修正板设于该镀膜仓内并位于该伞架下方，其板体具有第一表面及与该第一表面相对的第二表面，该第二表面面对该伞架。

综上，石英晶体微量天平感测精度高，响应速度快。故，该第一补偿板及第二补偿板能快速调整板体的第一表面的面积，从而提高镀膜均匀性。使用该第一补偿板及第二补偿板取代铝箔，无需时常更换，既减少镀膜仓污染，又节省时间，可提高镀膜效率。另，即使伞架偏移原固定位置，镀膜修正板亦可校正镀膜均匀性。

附图说明

图1为本技术方案一实施方式提供的镀膜装置的剖示图。

图2为图1所示镀膜装置的镀膜修正板从一视角所得示图。

图3为图2所示镀膜修正板从与图2相反方向视角所得示图。

图4为图3所示镀膜修正板的分解图。

图5为图3所示镀膜修正板调整宽度的状态图。

主要元件符号说明

镀膜装置    200

镀膜仓      210

溅镀靶材    220

伞架        230

顶壁        2101

本体        2301

转动轴            2302

通孔              2303

镀膜修正板        100

第一表面          101

第一侧壁          103

第二侧壁          104

板体              10

第一补偿板        11

第二补偿板        12

第一列            133

第二列            134

石英晶体微量天平  13

第一电极          131

信号线            14

处理控制模块      15

第二表面          102

第二电极          132

驱动装置          16

第一驱动器        161

第一传动杆        162

第二驱动器        163

第二传动杆        164