[发明专利]两自由度微动定位平台

权利要求书

1.一种两自由度微动定位平台，其特征在于：包括基座(9)、X方向放大杠杆(11)、Y方向放大杠杆(21)、复合平行四杆导向机构以及运动平台(15)；X方向压电陶瓷驱动器(14)与Y方向压电陶瓷驱动器(18)相互垂直的放置在基座(9)上各自的矩形槽内，X方向压电陶瓷驱动器(14)的输出端通过拧紧X方向预紧螺母(16)紧靠在X方向放大杠杆的输入铰链(12)上，X方向放大杠杆的固支铰链(13)与基座(9)铰接，X方向放大杠杆(11)的输出铰链(10)与复合平行四杆导向机构的中部铰接，Y方向压电陶瓷驱动器(18)的输出端通过拧紧Y方向预紧螺母(17)紧靠在Y方向放大杠杆的输入铰链(20)上，Y方向放大杠杆的固支铰链(19)与基座(9)铰接，Y方向放大杠杆(21)的输出铰链(22)与复合平行四杆导向机构的中部铰接，运动平台(15)位于基座(9)的中部，复合平行四杆导向机构第三组柔性铰链(3-1、3-2)，复合平行四杆导向机构第四组柔性铰链(4-1、4-2)，复合平行四杆导向机构第七组柔性铰链(7-1、7-2)和复合平行四杆导向机构第八组柔性铰链(8-1、8-2)分别铰接在运动平台(15)的四个侧面。

2.根据权利要求1所述的一种两自由度微动定位平台，其特征在于：所述的复合平行四杆导向机构：其第六组柔性铰链(6-1、6-2)一端与基座(9)铰接，另一端与X方向放大杠杆(11)输出铰链(10)铰接；其第五组柔性铰链(5-1、5-2)一端与基座(9)铰接，另一端与第三组柔性铰链(3-1、3-2)铰接；其第一组柔性铰链(1-1、1-2)一端与基座(9)铰接，另一端与Y方向放大杠杆(21)输出铰链(22)铰接；其第二组柔性铰链(2-1、2-2)一端与基座(9)铰接，另一端与第八组柔性铰链(8-1、8-2)铰接；其第四组柔性铰链(4-1、4-2)一端与运动平台(15)的一个侧面铰接，另一端与X方向放大杠杆输出铰链(10)铰接，其第三组柔性铰链(3-1、3-2)一端与运动平台(15)的一个侧面铰接，另一端与复合平行四杆导向机构第五组柔性铰链(5-1、5-2)铰接，其第七组柔性铰链(7-1、7-2)一端与运动平台(15)的一个侧面铰接，另一端与Y方向放大杠杆输出铰链(22)铰接，其第八组柔性铰链(8-1、8-2)一端与运动平台(15)的一个侧面铰接，另一端与复合平行四杆导向机构第二组柔性铰链(2-1、2-2)铰接。

3.根据权利要求1所述的一种两自由度微动定位平台，其特征在于：所述的复合平行四杆导向机构的第一组柔性铰链(1-1、1-2)、第二组柔性铰链(2-1、2-2)、第三组柔性铰链(3-1、3-2)、第四组柔性铰链(4-1、4-2)、五组柔性铰链(5-1、5-2)、第六组柔性铰链(6-1、6-2)、第七组柔性铰链(7-1、7-2)和第八组柔性铰链(8-1、8-2)均为叶状柔性铰链X方向放大杠杆的固支铰链(10)、X方向放大杠杆的输入铰链(12)、X方向放大杠杆的输出铰链(13)、Y方向放大杠杆的固支铰链(19)、Y方向放大杠杆的输入铰链(20)和Y方向放大杠杆的输出铰链(22)均为圆弧状柔性铰链。

4.根据权利要求1所述的一种两自由度微动定位平台，其特征在于：所述的X方向放大杠杆的固支铰链(13)、X方向放大杠杆的输入铰链(12)、X方向放大杠杆的输出铰链(10)有相同的柔性铰链半径R为1.5mm和不同的铰链宽度t，X方向放大杠杆的固支铰链(13)的t为0.5mm，X方向放大杠杆的输入铰链(12)的t为0.4mm，X方向放大杠杆的输出铰链(10)的t为0.25mm；Y方向放大杠杆的固支铰链(19)、Y方向放大杠杆的输入铰链(20)、Y方向放大杠杆的输出铰链(22)有相同的柔性铰链半径R为1.5mm和不同的铰链宽度t，Y方向放大杠杆的固支铰链(19)的t为0.5mm，Y方向放大杠杆的输入铰链(20)的t为0.4mm，X方向放大杠杆的输出铰链(22)的t为0.25mm。