[发明专利]筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧

权利要求书

1.一种筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧，其特征是：在金属背管外表面均匀镶嵌有片式或其它形状的导电导热的弹簧，在单节旋转靶材材料内表面涂覆金属涂层，再将一个或多个内壁涂覆金属涂层的单节旋转靶材材料套在金属背管外壁，并调整单节旋转靶材材料与金属背管以及相邻单节旋转靶材材料之间的位置，对金属背管进行加热处理，使单节旋转靶材材料内壁金属涂层局部熔化，从而能够紧密地贴附在镶嵌于金属背管的弹簧片表面，停止加热并自然冷却，获得旋转靶材。

2.制造如权利要求1所述的一种筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧，其特征在于包括以下步骤：

步骤一：提供材料为不锈钢、钛和铜的金属背管，通过加工使金属管表面布满分布均匀凹槽，然后将片式或其它形状的金属弹簧均匀镶嵌入金属背管的凹槽中；

步骤二：提供单节靶材，将需要涂覆的金属材料均匀致密牢固地涂覆在单节靶材内表面；

步骤三：接着进行单节靶材材料套入金属背管，将套有单节靶材的金属背管进行加热，使单节靶材内壁金属涂层局部熔化，紧密贴附在镶嵌在金属背管的弹簧片表面；

步骤四：停止加热，经自然冷却后，金属背管与单节靶材之间填充了可导电导热的弹簧片实现帮定。

3.如权利要求2所述的一种筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧制造方法，其特征是：在步骤二中所述的单节旋转靶材包括陶瓷靶材材料和金属靶材材料。

4.如权利要求2或3所述的一种筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧制造方法，其特征是：在步骤二中所述涂覆的金属材料包括金属铟及其合金、金属锡及其合金，金属镍及其合金。