[发明专利]供气单元和供气装置

权利要求书

1.供气单元，包括内部设有流路的流路块，所述流路包括主流路和多个分别与所述主流路连通的副流路，对每一所述副流路设有开闭阀，所述开闭阀阻断和连通所对应的所述副流路和所述主流路，其特征在于：

所述流路块形成为呈长条状延伸的长方体状，包括阀搭载面和副流路开口面并且所述阀搭载面和所述副流路开口面是位于相反两侧的面，其中，所述阀搭载面搭载有所述开闭阀，所述副流路的开口设置于所述副流路开口面；

所述开闭阀沿所述阀搭载面的长度方向进行直列式配置，所述开闭阀的各阀室设于所述阀搭载面；

所述副流路连通所述阀室的大致中央部分并且向背离所述阀搭载面的方向延伸，所述副流路的开口形成于所述副流路开口面；

所述主流路连接相邻的所述开闭阀的所述阀室，并包括侧面流路，所述侧面流路设于所述流路块中从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面中的至少一个侧面上，所述侧面流路由沿着所述阀搭载面的长度方向延伸的槽部和覆盖所述槽部的槽开口的盖部件构成。

2.根据权利要求1所述的供气单元，其特征在于，所述侧面流路沿所述阀搭载面的长度方向交替地设于所述流路块中从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面的一个侧面和另一侧面上。

3.根据权利要求2所述的供气单元，其特征在于，设于所述流路块中从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面的一个侧面和另一侧面且关于所述阀搭载面的长度方向相邻的所述侧面流路包括在所述阀搭载面的长度方向上在设有所述阀室的位置处相互重叠的部分。

4.根据权利要求1所述的供气单元，其特征在于，在所述流路块中，所述侧面流路只设于从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面中的一个侧面。

5.根据权利要求1至4的任一项所述的供气单元，其特征在于，所述主流路分别在夹持所述副流路和所述阀室的连通部的位置与同一个所述阀室连接。

6.供气装置，其特征在于，包括多个由权利要求1至5的任一项所述的供气单元，且所述供气单元并行设置使得从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面相互抵接。

7.根据权利要求1至5的任一项所述的供气单元，其特征在于，所述流路块中从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面中设置有所述侧面流路的部分设有加热器。

8.供气装置，其特征在于，

包括多个由权利要求1至5的任一项所述的供气单元，并且，该多个供气单元并行设置使得从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面相互抵接；

加热器被夹持在所述相邻的供气单元的所述侧面之间。