[发明专利]一种提高机械手臂运动准确性的装置及其使用方法

权利要求书

1.一种提高机械手臂运动准确性的装置，包括控制装置、机械手臂、对准腔、反应腔，所述控制装置根据预设位置控制所述机械手臂运动；所述机械手臂用于抓取晶圆，并将所述晶圆运输到所述对准腔内进行对准，再将所述晶圆运输到所述反应腔内进行反应；其特征在于，还包括反馈装置，所述反馈装置与所述控制装置相连，晶圆被运输到对准腔后，所述反馈装置用于监测所述晶圆在所述对准腔内的实际位置，并产生反馈信号反馈给所述控制装置。

2.如权利要求1所述的提高机械手臂运动准确性的装置，其特征在于，所述反馈装置包括至少三个传感器和PLC电路，每个所述传感器均与所述PLC电路相连，用于探测所述晶圆的实际位置，并发送探测信号给所述PLC电路；所述PLC电路与所述控制装置相连，用于接收、处理所述探测信号，并向所述控制装置发出反馈信号。

3.如权利要求2所述的提高机械手臂运动准确性的装置，其特征在于，所述传感器为光敏传感器。

4.如权利要求2所述的提高机械手臂运动准确性的装置，其特征在于，所述传感器的数量为四个，所述四个传感器连线形成正四边形，所述正四边形的中心与晶圆预设位置的中心重合，两两对角传感器的连线经过所述晶圆预设位置的中心，每个所述传感器到所述正四边形的中心的距离比晶圆的半径大2mm～3mm。

5.如权利要求1所述的提高机械手臂运动准确性的装置的使用方法，其特征在于，包括：将晶圆置于机械手臂上；设定所述晶圆在所述对准腔和所述反应腔中的预设位置，并存储在所述控制装置中；在所述控制装置的控制下，所述机械手臂带动所述晶圆运动到所述对准腔中；所述反馈装置探测所述晶圆的实际位置，并发出反馈信号给所述控制装置；所述控制装置根据所述反馈信号控制所述机械手臂调整晶圆的位置，并记录调整量；所述机械手臂带动所述晶圆运动到所述反应腔中，所述控制装置根据所述调整量控制所述机械手臂运动，调整所述晶圆在反应腔中的位置。

6.如权利要求5所述的提高机械手臂运动准确性的装置的使用方法，其特征在于，所述反馈装置包括至少三个传感器和PLC电路，所述传感器探测晶圆的实际位置，并发送探测信号给所述PLC电路；所述PLC电路用于接收、处理所述探测信号，并给所述控制装置发出反馈信号。

7.如权利要求6所述的提高机械手臂运动准确性的装置的使用方法，其特征在于，所述传感器为光敏传感器。

8.如权利要求6所述的提高机械手臂运动准确性的装置的使用方法，其特征在于，所述传感器为四个，所述四个传感器连线形成正四边形，所述正四边形的中心与晶圆预设位置的中心重合，两两对角传感器的连线经过所述晶圆预设位置的中心，每个所述传感器到所述正四边形的中心距离比晶圆的半径大2mm～3mm。