[发明专利]基于光电效应的微激光陀螺

权利要求书

1.一种基于光电效应的微激光陀螺，其特征在于：包括基底(1)、结构层(2)、光源(3)和光敏电阻(4)；基底(1)和结构层(2)材料均为半导体材料，光源(3)为激光器，光敏电阻(4)材料为可以制作光敏电阻的材料；所述结构层(2)包括圆盘(11)和沿圆盘(11)周向均匀分布的若干个圆柱(5)，所述圆盘(11)具有中心孔(6)，所有圆柱(5)的底面直径d相同，相邻圆柱(5)中心之间的周向间隙S一致；为避免光的衍射现象发生，周向间隙S须满足：S＞λ，λ为激光器所发射激光的波长；同时周向间隙S与圆盘(11)的半径R以及圆柱(5)的底面直径d之间的关系须满足：以保证该光电陀螺的精度；对应结构层(2)上的中心孔(6)的位置，基底(1)上布有中心立柱(9)，中心孔(6)与中心立柱(9)通过间隙配合装在一起，置于台阶(10)上以支撑整个结构层(2)；光源(3)与中心立柱(9)键合在一起，中心立柱(9)的高度不小于圆盘(11)的厚度，同时光源(3)的最高点低于圆柱(5)的最高点，使得圆柱(5)能挡住光源(3)发射的光；在基底(1)上布有一个圆孔(8)，圆孔(8)圆心与基底(1)中心的距离大于圆盘(11)的半径R；光敏电阻(4)通过圆孔(8)与基底(1)上的装配台阶(12)装配在一起，同时，光敏电阻(4)的最高点不低于光源(3)的最高点，以使光敏电阻(4)能接收到光源(3)发射的光；光敏电阻(4)上下两端分布有光敏电极(7)。

2.一种如权利要求1所述的基于光电效应的微激光陀螺，其特征在于：所述光源(3)的激光器为垂直腔面发射半导体激光器。

3.一种如权利要求2所述的基于光电效应的微激光陀螺，其特征在于：所述垂直腔面发射半导体激光器所发射激光的波长λ满足：650nm≤λ≤1300nm。