[发明专利]共同极化的压电器件

权利要求书

1.一种用于使压电器件极化的系统，所述系统包括：

由小片窄带分隔开以形成阵列的多个薄膜部件；

形成在多个薄膜部件上的多个压电器件；

用于使多个压电器件极化的极化焊片；

多个轨迹，用于将横跨小片窄带的多个压电器件并联连接到极化焊片；以及

多个限流元件，每个限流元件与多个压电器件之一串联连接，以便限制到经历电流-相关故障的各个压电器件的电流。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，每个限流元件包括当各个压电器件之一经历电流-相关故障时产生开路电路的保险丝。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括与保险丝串联连接的牺牲焊片，以致当把强制电位施加于牺牲焊片时保险丝产生开路电路。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，每个限流元件包括电阻器，当各个压电器件之一经历电流-相关故障时，所述电阻器提供限流电阻。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，每个压电器件连接在每个薄膜部件上的单端电极焊片和共同接地焊片之间。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述多个轨迹按照单梳状平行轨迹配置把每个压电器件连接到极化焊片。

7.如权利要求1所述的系统，其特征在于，每个压电器件连接在每个薄膜部件上的第一和第二差动电极焊片之间。

8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述多个轨迹按照交错的双梳状平行轨迹配置把每个压电器件连接到极化焊片。

9.如权利要求1所述的系统，其特征在于，在阵列中的每个薄膜部件包括与工作在磁性介质上的数据存储系统一起使用的滑块。

10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，每个压电器件包括用于检测滑块和磁性介质之间的接触的压电传感器。

11.一种用于使铁电器件的阵列极化的方法，所述方法包括：

在晶片上定义切片窄带和小片窄带；

在晶片上形成铁电器件的阵列，以致所述切片窄带和小片窄带使阵列中的铁电器件分开；

经由形成在切片窄带和小片窄带中的平行轨迹网络把所述铁电器件连接到极化焊片；

通过使限流元件与每个铁电器件串联连接而限制到经历电流-相关故障的各个铁电器件的电流；以及

把极化电压施加于极化焊片，以致根据极化电压对准所述铁电器件中的畴。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，限制到各个铁电器件的电流包括使到经历电流-相关故障的每个铁电器件的电路开路。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，使所述电路开路包括把强制电位施加于牺牲焊片，所述牺牲焊片与经历电流-相关故障的每个铁电器件串联连接。

14.如权利要求11所述的方法，其特征在于，限制到各个铁电器件的电流包括使限流电阻器与阵列中的每个铁电器件串联连接。

15.如权利要求11所述的方法，其特征在于，使所述铁电器件与极化焊片连接包括形成用于把每个铁电器件上的第一电极连接到极化焊片的单掩模、单梳状平行轨迹网络。

16.如权利要求11所述的方法，其特征在于，使所述铁电器件与极化焊片连接包括形成用于把每个铁电器件上的第一电极连接到极化焊片并把每个铁电器件上的第二电极连接到第二极化焊片的单掩模、双梳状交错平行轨迹网络。

17.如权利要求11所述的方法，其特征在于，施加极化电压包括把至少10伏的极化电压施加于极化焊片，并且进一步包括将滑块加热到至少100℃达至少一分钟。

18.一种滑块，包括：

滑块体；

包括铁电材料的传感器，它响应于滑块体中的应力而产生压电信号；

连接到所述传感器用于施加极化电压的极化焊片；以及

限流元件，所述限流元件串联连接在传感器和极化焊片之间，以致当传感器经历由于极化电压引起的电流-相关故障时限流元件限制通过传感器的电流。

19.如权利要求18所述的滑块，其特征在于，所述限流元件包括保险丝，把所述保险丝配置成当所述传感器经历短路或击穿故障时产生开路电路。