[发明专利]光学元件及其制造方法无效
| 申请号： | 201010218320.6 | 申请日： | 2010-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN101937109A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 高桥通人;宫崎直 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 元件 及其 制造 方法 | ||
1.一种光学元件，具有包含磷酸玻璃或氟磷酸玻璃的光学玻璃以及在所述光学玻璃的表面形成的光学功能膜，其中，
所述光学功能膜包含以不同材质形成的两层以上的膜，
所述光学功能膜的最表面层由与磷酸的反应性低的物质形成。
2.如权利要求1所述的光学元件，其中，所述光学功能膜的最表面层为氧化物膜。
3.如权利要求2所述的光学元件，其中，所述氧化物膜包含选自由SiO2、Al2O3、Y2O3、La2O3、HfO2、Ta2O5、TiO2、ZrO2和Nb2O5构成的组中的至少一种材质。
4.如权利要求1至3中任一项所述的光学元件，其中，所述光学功能膜的最表面层的膜厚为5nm以上且450nm以下。
5.一种光学元件的制造方法，在包含磷酸玻璃或氟磷酸玻璃的光学玻璃的表面形成光学功能膜，所述光学功能膜通过将以不同材质形成的两层以上的膜依次层叠而形成，其中，
由与磷酸的反应性低的物质形成所述光学功能膜的最表面层。
6.如权利要求5所述的光学元件的制造方法，其中，通过使用电子枪蒸发源的真空蒸镀成膜法形成所述光学功能膜。
7.如权利要求6所述的光学元件的制造方法，其中，通过使用电子枪蒸发源的等离子体辅助或离子辅助蒸镀成膜法形成所述光学功能膜。
8.如权利要求5所述的光学元件的制造方法，其中，通过溅射成膜法形成所述光学功能膜。
9.如权利要求5至8中任一项所述的光学元件的制造方法，其中，所述包含磷酸玻璃或氟磷酸玻璃的光学玻璃，通过将光学玻璃成型材料加热软化并利用成型模具进行模压而得到。
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