[发明专利]一种载板定位装置及定位方法无效

专利信息
申请号: 201010220364.2 申请日: 2010-06-28
公开(公告)号: CN102299196A 公开(公告)日: 2011-12-28
发明(设计)人: 杨斌 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 逯长明;王宝筠
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 定位 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种载板定位装置,其特征在于,包括至少两组用于定位载板的汽缸,其中,第一组汽缸靠近所述载板的第一侧边,第二组汽缸靠近所述载板的第二侧边,所述第一侧边与所述第二侧边相对,所述第二组汽缸具有第一定位附件,所述第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相匹配。

2.根据权利要求1所述的载板定位装置,其特征在于,所述第二组汽缸上的第一定位附件为定位柱,所述载板第二侧边上的第二定位附件为朝向所述载板内部凹陷的槽口,所述定位柱与所述槽口相匹配。

3.根据权利要求1所述的载板定位装置,其特征在于,所述第二组汽缸上的第一定位附件为朝向所述第二组汽缸凹陷的槽口,所述载板第二侧边上的第二定位附件为定位柱,所述定位柱与所述槽口相匹配。

4.根据权利要求2或3所述的载板定位装置,其特征在于,所述定位柱的形状为圆柱形,所述槽口的形状为半圆形。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的载板定位装置,其特征在于,所述第一组汽缸包括一个汽缸。

6.根据权利要求5所述的载板定位装置,其特征在于,所述第一组汽缸位于所述第一侧边的中间位置,且所述第一组汽缸的宽度大于等于所述第一侧边的1/3。

7.根据权利要求1至3中任意一项所述的载板定位装置,其特征在于,所述第二组汽缸包括两个汽缸,所述两个汽缸设置在所述第二侧边的两端处。

8.根据权利要求1所述的载板定位装置,其特征在于,所述第二组汽缸上还具有用于根据对标识物的检测确定载板定位结果的接近传感器,所述标识物位于所述第二侧边上的第二定位附件处。

9.一种载板定位方法,其特征在于,包括:

载板定位装置的第一组汽缸靠近载板的第一侧边,推动所述载板至所述载板的第二侧边靠近所述载板定位装置的第二组汽缸,其中,所述第一侧边与第二侧边相对;

当所述第二组汽缸上的第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相配合时,完成所述载板的定位。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述第二组汽缸上的第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相配合,具体为:

所述第二组汽缸上的圆柱形定位柱卡入所述载板第二侧边上的半圆形槽口中。

11.根据权利要求9或10所述的方法,其特征在于,还包括:

当所述第二组汽缸上的接近传感器检测到标识物时,完成所述载板的定位,所述标识物位于所述第二侧边上的第二定位附件处。

12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,还包括:

当所述第二组汽缸上的接近传感器检测不到所述标识物时,发出警报。

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